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电化学抛光终点检测装置及方法

758   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:42:48
本发明揭示了一种电化学抛光终点检测装置，包括晶圆夹盘、抛光喷头、抛光喷头致动器、测量探头、测量探头致动器及控制模块。晶圆夹盘夹持晶圆，晶圆夹盘带动晶圆旋转。抛光喷头向晶圆夹盘上的晶圆表面喷射抛光液。抛光喷头致动器驱动抛光喷头在晶圆表面上方水平移动。测量探头测量抛光后晶圆表面的金属层膜厚值。测量探头致动器驱动测量探头在晶圆表面上方水平移动。控制模块根据测量探头测量的金属层膜厚值判断是否达到抛光终点。在同一时刻，抛光喷头与测量探头均在以晶圆的中心为圆心的同一半径圆上。本发明还揭示了一种电化学抛光终点检测方法。
声明：
“电化学抛光终点检测装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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