合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械研磨终点的检测方法

化学机械研磨终点的检测方法

1131   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:42:45
本发明公开了一种化学机械研磨终点的检测方法,用于晶圆表面金属的研磨终点检测,该方法包括:步骤A,以单色光源照射晶圆表面的检测区域,接收来自检测区域的反射光,以检测区域内的反射光强的平均值与入射光强的比值作为表面金属的面积百分比;步骤B,当单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值大于等于预定数值时,则表面金属开始被部分去除;步骤C,当单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值小于第一预定数值时,则初步判断达到研磨终点;步骤D、以检测区域内局部区域的反射光强的最大值与入射光强的比值作为表面金属的最大值;当单位时间内、表面金属的最大值的变化值的绝对值小于预定数值时,则达到研磨终点。
声明：
“化学机械研磨终点的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：基于电化学阻抗谱的膜清洗效果实时检测装置及方法
下一个：用于化学检测试管辅助玻璃套筒

与 “化学机械研磨终点的检测方法” 相关技术

▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪ 离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪ 炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪ 勘测地质用探入式矿石分析仪
▪ 硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪ 深部矿产资源勘查分析装置
▪ 地质钻探取管装置及取管方法

相关化学分析设备推荐

H-HDD100在线式激光粉尘分析仪
数显洛氏硬度计HRS-150
三合一土壤温湿盐速测仪
土壤测试仪器多少钱一台
土壤远程墒情监测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统
▪离子型稀土矿冶炼分离的预处理方法
▪炼化污水深度处理高效生物催化技术
▪勘测地质用探入式矿石分析仪
▪硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪深部矿产资源勘查分析装置
▪地质钻探取管装置及取管方法

报名参会
更多+

2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:124
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:99
4 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
5 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 制样室装修设计技巧
下载:84
10 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记