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局部区域形貌扫描的电化学检测方法

666   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:38:42
本发明提供了一种采用电化学检测装置进行局部区域形貌扫描的电化学检测方法，通过三维步进电机实现探针快速、长距离的控制，通过压电陶瓷传感器实现短距离的精密控制，利用双恒电位仪在测试样品上维持恒定电位，同时在测试探针上外加交流电位信号，通过数据采集模块获取样品局部区域的实部Zre、虚部-Zim、模值|Z|、相位角-Phase等电化学信号的三维空间分布的成像信息，并获得等效电路的各元件参数信息。其克服常规扫描电化学显微镜存在的信号弱、获得反馈电流密度信号难、检测信号单一等缺点，可以获得样品表面的局部微观阻抗分布特征，信息丰富，有利于研究解析样品的真实特性。
声明：
“局部区域形貌扫描的电化学检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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