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透射电镜原位电化学检测芯片及其制作方法

617   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:38:41
本发明提供一种透射电镜原位电化学检测芯片，包括上片和下片。所述上片和下片由两面带有绝缘层或氮化硅层的硅基片制成。所述上片设有两个对称的注液口和一个电子束视窗；所述上片的硅基片一面设置有金属键合层。所述下片的硅基片一面设置有参比电极、工作电极和对电极三电极体系；所述下片中心位置设置有观察视窗；所述上片和所述下片通过金属键合层粘接。本发明提供一种透射电镜原位电化学检测芯片的制作方法，制成的原位电化学检测芯片具有三电极和绝缘层，可实现通电条件下对样品进行检测，电场均匀，且安全性高、可控性强，同时以氮化硅层为支持层，有效提高成像分辨率，降低背景噪音。
声明：
“透射电镜原位电化学检测芯片及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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