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化学机械研磨及其终点检测方法

1027   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:38:41
一种化学机械研磨方法,包括:确定检测参数;执行主研磨操作,获得所述检测参数的变化率与时间的函数关系;在所述检测参数的变化率取极值之时或之后,执行过研磨操作。可准确地确定过研磨操作的基点,提高晶片之间研磨的均匀性。一种化学机械研磨终点检测方法,包括:确定检测参数;在主研磨过程中,获得所述检测参数的变化率与时间的函数关系;确定所述变化率的极值和过研磨操作持续时间;所述变化率取极值之时或之后,再经历所述过研磨操作持续时间到达研磨终点。可准确地确定主研磨操作的终点,继而准确地确定过研磨操作的基点,以提高晶片之间研磨的均匀性。
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“化学机械研磨及其终点检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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