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降低化学机械抛光工艺热点检测漏报率的方法

1083   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:38:40
一种降低化学机械抛光工艺热点检测漏报率的方法，包括：第一步骤：执行版图载入；第二步骤：选定格点大小，根据设置的起始点移动步长，并计算两个垂直移动方向上的单方向移动次数；第三步骤：将版图切割起始点(X, Y)按照{(X?m*s), (Y?n*s)}进行移动，其中s为起始点移动步长，m和n为整数且初值均为所述单方向移动次数；第四步骤：执行格点几何信息提取；第五步骤：执行化学机械抛光工艺模拟预测；第六步骤：执行热点检测；第七步骤：使得n递增1，在递增1之后的n小于单方向移动次数时，重复第三步骤到第六步骤，或使得m递增1，在递增1之后的m小于单方向移动次数时，使得n递增1，当递增1后的n也小于单方向移动次数时，重复第三步骤到第六步骤。
声明：
“降低化学机械抛光工艺热点检测漏报率的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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