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化学机械研磨的抛光垫图像检测系统

1010   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:38:40
本实用新型提供了一种化学机械研磨的抛光垫图像检测系统。化学机械研磨的抛光垫图像检测系统包括：图像采集装置及图像对比处理装置。通过对比待检测抛光垫的表面形貌图像与对应的目标抛光垫表面形貌图像，确定并修复待检测抛光垫的表面缺陷。本实用新型提供的化学机械研磨的抛光垫图像检测系统提高了抛光垫表面缺陷检测的效率和准确性，降低晶圆出现刮伤报废的风险，改善了晶圆良品率。
声明：
“化学机械研磨的抛光垫图像检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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