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电化学机械研磨控制工艺

869   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:36:29
一个侦测研磨步骤终点的系统与方法。一般而言,一个电源供应器乃提供给一个电解研磨系统,此电源供应器经由一电解溶液传输一电流。监控由电源供应器所提供信号的信号特征,以决定一个研磨终点。需说明的是,此监控的信号特征包含电流与电压。在其它实施例中,电流与移除物质有相关性,此时在过程中乃监控电流以决定移除物质总量。
声明：
“电化学机械研磨控制工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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