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用于在高温环境中检测或监测化学前体的设备

796   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:36:29
公开了一种用于监测和/或检测反应室中化学前体浓度的设备和方法。所述设备和方法具有在高温环境中操作的优点。光学发射光谱仪(OES)联接于气体源，例如固体源容器，以便监测或检测到达所述反应室的所述化学前体的输出。替代地，可以周期性地监测流动进入所述OES以及进入真空泵，由此绕过所述反应室的少量前体样品。
声明：
“用于在高温环境中检测或监测化学前体的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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