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检测钨塞化学机械抛光工艺的测试结构

571   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:36:28
本发明提供一种检测钨塞化学机械抛光工艺的测试结构,其中,该测试结构包括多个模块,其上分布有钨塞,钨塞大小相同,每个模块上钨塞分布的密集度不同。所述结构中每个模块的面积相等,钨塞之间的间隔依次增大,每个模块上的钨塞个数依次减少,每个模块上钨塞密度不同。将钨塞划分为钨塞组,通过改变钨塞组的分布改变每个模块钨塞的分布密集度,每个模块上钨塞组分布的密集度不同。与现有技术相比,本发明提供的测试结构可以更清晰地看到侵蚀、边缘过侵蚀与钨塞密度、面积大小的关系,并且同时提供了对凹陷、钨清除能力的检测。
声明：
“检测钨塞化学机械抛光工艺的测试结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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