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具有检测反应室状态功能的化学气相沉积装置及检测方法

895   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:35:59
一种化学气相沉积装置,其包含有一加热支撑座(heating holder)设置于一反应室内,一淋气头(shower head)平行设置于该加热支撑座的上方,且该加热支撑座与该淋气头构成一电容,以及一反应室状态检测装置(chamber condition detector),分别与该加热支撑座与该淋气头电连接,该反应室状态检测装置包含有一电阻,且该电阻与该电容串联构成一RC电路。
声明：
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