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化学成份检测微纳光学传感器及其制作与检测方法

1106   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:35:58
提供一种化学成分检测微纳光学传感器及其制作与测量方法，包括硅基片，硅基片设置有光源、检测腔、光接收器，硅基片在光源与检测腔之间开设第一沟槽,在检测腔与光接收器之间开设第二沟槽,第一沟槽、第二沟槽内充满经液体灌注，固化后用作使光线定向传输的光波导材料，固化后的光波导材料在检测腔的两侧分别形成呈凸起圆弧形的聚光壁，从光源依次经第一沟槽内的光波导材料、检测腔、第二沟槽内的光波导材料至光接收器形成光通路；光源所发出光的波长正是只有所要检测的化学成分所能吸收的光的波长，光接收器是能接收的光并能转换成电参数值的光接收器；使用前先进行标定，获得标定关系后，就可以在现场测量。
声明：
“化学成份检测微纳光学传感器及其制作与检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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