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沉积温度的检测方法

841   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:35:58
一种沉积温度的检测方法,适用于检测化学气相沉积机台的反应室的沉积温度,包括:于反应室中置入待沉积物;于待沉积物上形成金属硅化物层;测量金属硅化物层的硅/金属原子比;以及将硅/金属原子比代入硅/金属原子比对温度的关系式以求得沉积温度。通过上述方法可实时检测并监控机台的沉积温度。
声明：
“沉积温度的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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