本发明的化学物质的检测装置(100)具备真空紫外光灯(3),通过该真空紫外光灯(3),将废气Gs中的检测对象化学物质离子化。被离子化的检测对象化学物质被封闭在内部形成高频电场的离子捕获装置(10)内。通过SWIFT波形(其包含将与该检测对象化学物质离子的轨道共振频率对应的频率排除的频率成分)提供给离子捕获装置(10)内的离子群能量并除去杂质。然后,通过TICKLE波形(具有对应于检测对象化学物质离子的轨道共振频率的频率成分)给上述离子群提供能量,并将检测对象化学物质的离子碎片化。然后,可通过质量分析计(4)测定该碎片的质量,以鉴定检测对象化学物质。
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