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一种基板检测系统及检测方法

917   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:32:22
本发明公开了一种基板检测系统及检测方法，包括：检测机构；转盘机构，包括转盘和定位基板的定位工装，定位工装数量有多个且沿着转盘的周向分布在转盘上；输送机构，被配置成将待检测的基板输向转盘机构以及接收检测后合格的基板，并将其输离转盘机构；搬运机构，包括将基板自输送机构移至转盘机构上的上料搬运机构、将基板自转盘机构移至输送机构的下料搬运机构、以及位于上料搬运机构和下料搬运机构之间的复测切换机构，复测切换机构可带动基板在上料搬运机构和下料搬运机构间往返。本发明能够实现基板的自动搬运、检测、复测，减少了人工劳动，有效提高了检测效率。
声明：
“一种基板检测系统及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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