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一种基板检测系统及检测方法

848   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:32:22
本发明公开了一种基板检测系统及检测方法,包括:检测机构;转盘机构,包括转盘和定位基板的定位工装,定位工装数量有多个且沿着转盘的周向分布在转盘上;输送机构,被配置成将待检测的基板输向转盘机构以及接收检测后合格的基板,并将其输离转盘机构;搬运机构,包括将基板自输送机构移至转盘机构上的上料搬运机构、将基板自转盘机构移至输送机构的下料搬运机构、以及位于上料搬运机构和下料搬运机构之间的复测切换机构,复测切换机构可带动基板在上料搬运机构和下料搬运机构间往返。本发明能够实现基板的自动搬运、检测、复测,减少了人工劳动,有效提高了检测效率。
声明:
“一种基板检测系统及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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