本发明涉及一套低温激光扫描双聚焦显微系统的设计和制作。该设计和制作包括五个主要部分:I外场输入;II低温致冷腔;III光子收集;IV光谱/单光子检测;V系统自动控制。系统主要技术性能指标包括:①真空极限荧光收集率;②振幅≤10纳米;③平移精度≤10纳米;④氦气闭循环制冷;⑤最低温度4K,稳定性≤0.01K;⑥多外场同步激发。⑦~10纳米分辨率;⑧电学/光学测量;⑨外光路可扩展性。本发明的优点在于该套系统从光子收集率、三维平移精度、抗振动度、以及扩展性应用上都能达到同类国际顶级水平。能够为量子点、
半导体材料、微生物单分子等的量子光学、调控、光电和电学低温/常温测试等提供一套高效高精度低温显微测试平台。
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