本发明涉及一种镍铬合金溅射靶材的制备方法,所述制备方法包括:先对镍铬合金铸锭进行致密化处理,再依次进行锻造、退火、轧制、终端退火、机加工,得到镍铬合金溅射靶材。所述制备方法针对熔炼铸造得到的镍铬合金铸锭的内部缺陷问题,在热塑性变形加工之前先进行致密化处理,有效避免了镍铬合金溅射靶材的内部缺陷问题,将成品率提高至90%以上;而且,制备得到的镍铬合金溅射靶材内部结构均匀,晶粒细小,晶粒≤50μm,符合半导体等高精端产业的质量要求。
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