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行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测试方法

641   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:28:46
本发明公开了一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测定方法，本发明所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速装置，结构设计合理，操作方便，测量结果准确。本发明提供的微型溅射离子泵的抽速测定方法，可操作性强，计算结果准确，可快速准确的测定行波管用微型溅射离子泵的抽速，本发明可在1×10-3～1×10-4Pa压力下，测试气体为氮气时，对微型溅射离子泵的抽速的测定范围为1～8L/s，可为微型溅射离子泵的性能检测提供科学依据。
声明：
“行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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