本发明涉及一种通过光激发增强电流注入LED电致发光性能检测系统,检测系统包括激发光源、外部电源、电极板、电介质层、待测的LED器件以及光参数探测系统,波长低于LED
芯片发光波长的激发光源辐照在LED器件上,外部电源与电极板相连接并提供脉冲电压施加到电极板,电极板通过电介质层与LED器件的P型层、阳极或N型层即阴极接触以实现电容性和电导性电流注入,通过激发光源增加注入电流转化成载流子比例,以增强LED的电致发光性能;光参数探测系统主要由光学器件、光谱仪和探测器组成,同时采集LED光电性能,包括LED器件发光的亮度、波长和角分布。该检测系统有利于对LED外延片或LED芯片的光电性能进行非接触、快速检测。
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