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一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法

716   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:23:56
本发明公开了一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法。该检测方法采用曝光法和扫描法相结合的混合检测系统，由激光光源、扩束准直系统、亚波长光子筛、已涂有光刻胶的硅片、真空泵、工件台、计算机控制系统组成；其中，工件台由PI公司的二维工件台和压电陶瓷共同组成，二维工件台用于粗调，压电陶瓷用于精调；工件台的运动方向及步进值由计算机控制系统的软件进行设置，其中X方向控制焦距的步进，Y方向控制聚焦光斑的移动。本发明的检测方法的测量精度不受CCD像素间距的影响，无需光学放大环节，不改变光斑在空间的实际能量分布。
声明：
“一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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