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静电卡盘性能检测装置及检测方法

639   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:14:54
本发明公开了一种静电卡盘性能检测装置及检测方法，属于静电卡盘性能检测领域。所述静电卡盘性能检测装置包括真空腔室和测试气路，真空腔室上连接有真空泵，真空腔室内设置有转接盘，转接盘的上方设置有静电卡盘，静电卡盘的上表面用于放置被吸附物，静电卡盘与被吸附物之间存在吸附缝隙，静电卡盘和转接盘的中心处设置有与测试气路相连通的气孔；测试气路上依次设置有背吹气源、气体质量流量计和真空计，背吹气源与气体质量流量计之间设置有第一阀体，气体质量流量计与真空计之间设置有第二阀体。本发明既可以保证检测环境与超薄材料的镀膜工艺环境一致，又能使检测时被吸附物在其中心受力，根据该方法判断出的静电卡盘吸附性能也较准确。
声明：
“静电卡盘性能检测装置及检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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