本发明公开了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方 法,该方法采用直流磁控溅射法制备Pt/Ti底电极,采用 BaxSr1- xTiO3陶瓷靶材 及射频磁控溅射设备,在较低功率下预溅射后,在正常工艺条 件下溅射BST薄膜,然后在O2 气氛中进行慢速热处理,如此重复进行三次;最后,采用直流 磁控溅射在BST薄膜上制备上电极,得到具有夹心结构的材料 样品。采用本发明的方法能得到具有
钙钛矿结构、晶粒大小均 匀、铁电性能较好的BST铁电薄膜,该铁电薄膜可用于动态随 机存储器、介质移相器、压控滤波器、热释电红外探测器等领 域。
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