合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 探矿技术

> 钛酸锶钡薄膜材料的制备方法

钛酸锶钡薄膜材料的制备方法

965   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-02 00:40:04
本发明公开了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方 法,该方法采用直流磁控溅射法制备Pt/Ti底电极,采用 BaxSr1- xTiO3陶瓷靶材 及射频磁控溅射设备,在较低功率下预溅射后,在正常工艺条 件下溅射BST薄膜,然后在O2 气氛中进行慢速热处理,如此重复进行三次;最后,采用直流 磁控溅射在BST薄膜上制备上电极,得到具有夹心结构的材料 样品。采用本发明的方法能得到具有钙钛矿结构、晶粒大小均 匀、铁电性能较好的BST铁电薄膜,该铁电薄膜可用于动态随 机存储器、介质移相器、压控滤波器、热释电红外探测器等领 域。
声明:
“钛酸锶钡薄膜材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
探矿技术
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记