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光电探测器阵列制备方法

728   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-28 01:00:08
本发明公开了一种光电探测器阵列制备方法，属于光电材料与器件技术领域，目的在于解决钙钛矿薄膜器件小型化、图形化的问题。其包括以下步骤：S1、首先对石英玻璃基底进行清洗，再对其表面进行处理；S2、对组分为Ti3C2Tx的MXene胶体溶液进行制备，并将制备好的MXene溶液旋涂在S1处理后的石英玻璃基底上成膜；S3、用激光直写对S2中得到涂覆有MXene薄膜的石英玻璃基底进行第一次沟道刻划；S4、在S3处理后的石英玻璃基底上制备钙钛矿吸收层；S5、采用激光直接对S4处理后的样品进行第二次刻划，去移除多余的钙钛矿吸收层；S6、采用激光直写对S5处理后的样品进行第三次刻划，分离出像素单元，形成钙钛矿成像阵列。本发明适用于光电探测器阵列制备方法。
声明：
“光电探测器阵列制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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