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基于石墨烯的宽波段探测器结构及其制作方法

747   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-28 01:00:08
本发明涉及一种基于石墨烯的宽波段探测器结构及其制作方法，该结构从下到上依次包括硅衬底、反射层及绝缘层，绝缘层上形成有金属天线和电极，金属天线和电极上形成有石墨烯层，石墨烯层覆盖部分电极和全部金属天线图形，石墨烯层上形成有钙钛矿量子点层，钙钛矿量子点层完全覆盖石墨烯层。本发明利用石墨烯和钙钛矿量子点结合实现对可见光与近红外辐射的探测，且钙钛矿量子点层对可见光、近红外波段的红外辐射有较强的吸收能力；利用金属天线与石墨烯结合实现对中红外与远红外辐射的探测，且特定的金属天线结构对中红外与远红外波段的红外辐射有较强的吸收能力；解决了传统石墨烯光探测器探测能力弱和金属天线探测波段窄的问题。
声明：
“基于石墨烯的宽波段探测器结构及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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