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镀层测厚仪的平面XY微动装置

898   编辑:管理员   来源:西凡仪器(深圳)有限公司  
2024-05-21 09:14:42
权利要求书: 1.一种镀层测厚仪的平面XY微动装置,其特征在于,包括:样品承载台(5)、滑台上座(6)、滑台中座(7)和滑台底座(9),所述滑台中座(7)在X方向与所述滑台底座(9)滑动连接,所述滑台上座(6)在Y方向上与所述滑台中座(7)滑动连接;所述滑台底座(9)的一侧设置有X轴传动定位座(10),所述滑台中座(7)的一侧设置有X轴丝杆螺母座(15),所述样品承载台(5)安装在所述滑台上座(6)上;X轴传动丝杆(13)的一端与所述X轴传动定位座(10)的一端可枢转地连接,所述X轴传动定位座(10)的另一端可枢转地安装有Y轴传动花键轴(20),所述X轴传动丝杆(13)的另一端可枢转地穿设在所述Y轴传动花键轴(20)中,所述X轴丝杆螺母座(15)安装在所述X轴传动丝杆(13)上,所述Y轴传动花键轴(20)上安装有Y轴传动锥齿轮(19);所述滑台中座(7)的另一侧设置有Y轴传动定位座(26),所述滑台上座(6)的一侧设置有Y轴丝杆螺母座(27);所述Y轴传动定位座(26)上可枢转地安装有Y轴传动丝杆(28),所述Y轴丝杆螺母座(27)安装在所述Y轴传动丝杆(28)上,所述Y轴传动丝杆(28)的一端设置有用于与所述Y轴传动锥齿轮(19)配合的Y轴从动锥齿轮(24);所述X轴传动丝杆(13)与所述Y轴传动丝杆(28)垂直设置,所述X轴传动丝杆(13)的一端设置有X轴旋转驱动部(23),所述Y轴传动花键轴(20)上设置有Y轴旋转驱动部(22)。2.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置,其特征在于,所述滑台中座(7)通过X轴交叉滚珠直线导轨(8a)安装在所述滑台底座(9)上,所述滑台上座(6)通过Y轴交叉滚珠直线导轨(8b)安装在所述滑台中座(7)上。3.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置,其特征在于,所述X轴传动定位座(10)的一个轴承孔内背对背地安装有两个用于与所述X轴传动丝杆(13)连接的第一角接触球轴承(40),所述X轴传动定位座(10)的另一个轴承孔内安装有两个用于与所述Y轴传动花键轴(20)连接的第一深沟球轴承(34a)。4.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置,其特征在于,所述X轴丝杆螺母座(15)的远离所述Y轴传动锥齿轮(19)的一端设置有X轴梯形螺母(14a),所述X
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“镀层测厚仪的平面XY微动装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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