权利要求书： 1.一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，包括：样品承载台(5)、滑台上座(6)、滑台中座(7)和滑台底座(9)，所述滑台中座(7)在X方向与所述滑台底座(9)滑动连接，所述滑台上座(6)在Y方向上与所述滑台中座(7)滑动连接；所述滑台底座(9)的一侧设置有X轴传动定位座(10)，所述滑台中座(7)的一侧设置有X轴丝杆螺母座(15)，所述样品承载台(5)安装在所述滑台上座(6)上；X轴传动丝杆(13)的一端与所述X轴传动定位座(10)的一端可枢转地连接，所述X轴传动定位座(10)的另一端可枢转地安装有Y轴传动花键轴(20)，所述X轴传动丝杆(13)的另一端可枢转地穿设在所述Y轴传动花键轴(20)中，所述X轴丝杆螺母座(15)安装在所述X轴传动丝杆(13)上，所述Y轴传动花键轴(20)上安装有Y轴传动锥齿轮(19)；所述滑台中座(7)的另一侧设置有Y轴传动定位座(26)，所述滑台上座(6)的一侧设置有Y轴丝杆螺母座(27)；所述Y轴传动定位座(26)上可枢转地安装有Y轴传动丝杆(28)，所述Y轴丝杆螺母座(27)安装在所述Y轴传动丝杆(28)上，所述Y轴传动丝杆(28)的一端设置有用于与所述Y轴传动锥齿轮(19)配合的Y轴从动锥齿轮(24)；所述X轴传动丝杆(13)与所述Y轴传动丝杆(28)垂直设置，所述X轴传动丝杆(13)的一端设置有X轴旋转驱动部(23)，所述Y轴传动花键轴(20)上设置有Y轴旋转驱动部(22)。2.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，所述滑台中座(7)通过X轴交叉滚珠直线导轨(8a)安装在所述滑台底座(9)上，所述滑台上座(6)通过Y轴交叉滚珠直线导轨(8b)安装在所述滑台中座(7)上。3.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，所述X轴传动定位座(10)的一个轴承孔内背对背地安装有两个用于与所述X轴传动丝杆(13)连接的第一角接触球轴承(40)，所述X轴传动定位座(10)的另一个轴承孔内安装有两个用于与所述Y轴传动花键轴(20)连接的第一深沟球轴承(34a)。4.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，所述X轴丝杆螺母座(15)的远离所述Y轴传动锥齿轮(19)的一端设置有X轴梯形螺母(14a)，所述X
声明：
“镀层测厚仪的平面XY微动装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：西凡仪器(深圳)有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
