权利要求书： 1.一种基于扫描电镜的自动聚焦方法，其特征在于，包括如下步骤：基于扫描电镜的各工作高度参数和各聚焦位置预设系数，计算搜索目标聚焦位置对应的初始聚焦焦距；基于预设图像清晰度阈值、第一聚焦焦距步长、所述目标聚焦位置对应的初始聚焦焦距和聚焦焦距预设调节次数，按照三点趋势法在所述目标聚焦位置的预设方向上逐步多次调节聚焦焦距并拍摄每次调节聚焦焦距形成的聚焦图像，直到所述多次调节聚焦焦距形成聚焦图像对应的图像清晰度满足预设条件为止，并记录最佳图像清晰度对应的最佳聚焦焦距；按照所述最佳图像清晰度对应的最佳聚焦焦距，对所述目标聚焦位置进行自动聚焦。2.根据权利要求1所述的基于扫描电镜的自动聚焦方法，其特征在于，基于预设图像清晰度阈值、第一聚焦焦距步长、所述目标聚焦位置对应的初始聚焦焦距和聚焦焦距预设调节次数，按照三点趋势法在所述目标聚焦位置的预设方向上逐步多次调节聚焦焦距并拍摄每次调节聚焦焦距形成的聚焦图像，直到所述多次调节聚焦焦距形成聚焦图像对应的图像清晰度满足预设条件为止，并记录最佳图像清晰度对应的最佳聚焦焦距，包括：基于所述第一聚焦焦距步长、所述目标聚焦位置对应的初始聚焦焦距和所述聚焦焦距预设调节次数，在每次调节聚焦焦距中均按照三点趋势法记录所述目标聚焦位置的预设方向上连续拍摄的三张聚焦图像的图像清晰度；基于所述连续拍摄的三张聚焦图像的图像清晰度，计算第二张聚焦图像对应的图像清晰度减去第一张聚焦图像对应的图像清晰度得到第一差值；和，计算所述第二张聚焦图像对应的图像清晰度减去第三张聚焦图像对应的图像清晰度得到第二差值；基于所述聚焦焦距预设调节次数，在每次调节聚焦焦距中均按照三点趋势法记录所述目标聚焦位置的预设方向上连续拍摄的三张聚焦图像的图像清晰度，直到所述第一差值大于所述预设图像清晰度阈值，且所述第二差值大于所述预设图像清晰度阈值时为止，并将所述第二张聚焦图像对应的图像清晰度作为最佳聚焦清晰度；获取所述最佳聚焦清晰度对应的最佳聚焦焦距。3.根据权利要求2所述的基于扫描电镜的自动聚焦方法，其特征在于，若基于所述多次调节聚焦焦距，在每次调节聚焦焦距中均按照三点趋势法记录所述目标聚焦位置的预设方向上连续拍摄的三张聚焦图像的图像清晰度，一直不满足所述第一差值大于所述预设图像清晰度阈值，且所述第二差值大于所述预设图像清
声明：
“基于扫描电镜的自动聚焦方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
584
编辑：中冶有色网
来源：北京中科科仪股份有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年06月06日 ~ 08日 
