权利要求书： 1.一种扫描电子显微镜电子束斑深度的测量方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)在导电金属基底层上，从下往上逐步溅射上厚度为d1的第1金属层、厚度为d2第2金属层、......、厚度为dn-1的第n-1金属层、厚度为dn的第n金属层，形成标准样品，其中n≥5；2)利用扫描电子显微镜对步骤1)得到的标准样品在测试倍率M下进行聚焦放大扫描，同时利用能谱仪在倍率M下从上往下分别获取第n-1金属层、......、第2金属层、第1金属层的金属元素的出峰临界值电压n-1、......、2、1，以及扫描显微镜电子束到达第n-1金属层、......、第2金属层、第1金属层表面激发金属特征信号需要的深度值为dn、......、dn+dn-1+......+d3、dn+dn-1+......+d3+d2；再将各金属层的金属元素出峰临界值电压以及扫描显微镜电子束到达各金属层表面激发金属特征信号需要的深度值进行建模，形成倍率M下的三坐标数据矩阵：(M、n-1、dn)、......、(M、2、dn+dn-1+......+d3)、(M、1、dn+dn-1+......+d3+d2)；3)按倍率变化值m固定顺序调整测试倍率为M+m、M+2m、......、M+(a-1)m、M+am，其中a≥5；再按照步骤2)所述的方法分别获取倍率M+m、M+2m、......、M+(a-1)m、M+am下的三坐标数据矩阵；4)将在测试倍率M、M+m、M+2m、......、M+(a-1)m、M+am下获取的的数据矩阵进行拟合形成数据矩阵群落；通过拟合形成三维曲面，按照三维曲面则可得到任一倍率和任一出峰临界值电压下的扫描电子显微镜的电子束斑深度值。2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜电子束斑深度的测量方法，其特征在于，所述导电金属基底层为铝基底层；所述金属层材料为铂、金、铜、镍或者铁中的一种；所述金属层的厚度d1、d2、、......、dn-1、dn均为100～10000nm。3.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜电子束斑深度的测量方法，其特征在于，所述能谱仪是在一定初始电压下，在一定的电压范围内连续缓慢升高电压，以获取相应倍率下的元素出峰临界值电压。4.根据权利要求3所述的一种扫描电子显微镜电子束斑深度的测量方法，其特征在于，所
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“扫描电子显微镜电子束斑深度的测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：无锡华鑫检测技术有限公司
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2025年06月13日 ~ 15日 
