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北京有色金属化学分析技术理论与应用

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低电导率、抗灰迹RB:KTP晶体及其制备方法

本发明公开了一种低电导率、抗灰迹Rb : KTP晶体,所述晶体的化学式为RbxK(1-x)TiOPO4,0.01<x<0.1。本发明还公开了一种低电导率、抗灰迹Rb : KTP晶体的制备方法,包括以下步骤:在以K6作助熔剂的生长KTP的原料体系中加入氧化铷并搅拌均匀,制成Rb : KTP晶体原料;将制成的Rb : KTP晶体原料放入坩埚中进行加热熔化后再降温到饱合点;向熔化的原料中加入籽晶使Rb : KTP晶体沿籽晶生长。本发明公开的Rb : KTP晶体与KTP晶体相比,具有很低的电导率,能够满足作为电光器件的电导率要求,在高电场作用下不会使晶体变黑变性而损坏;晶体的吸收系数比较稳定,经实验测试具有很好的抗灰迹性能。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于Q学习模型的结果推送方法和系统

本发明涉及一种基于Q学习模型的结果推送方法和系统,包括以下步骤:将状态st、推送结果at,下一状态st+1和奖励值rt+1组成一个数据组,并将其存储至经验池D中;从经验池D中提取若干数据组,计算网络参数下的全梯度均值,此时的网络参数为锚点网络参数;随机提取上一步骤中的数据组,并计算其在当前网络参数下和锚点网络参数下的目标Q值和梯度值,将梯度值和全梯度均值带入方差缩减公式实现梯度更新;重复上述步骤直至训练结束,获得最终的Q学习模型,将待测状态输入最终的Q学习模型获得最佳推送结果。其通过将方差缩减技术引入到随机梯度下降的Q学习模型中,提高了强化学习的训练过程的稳定性。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用智能网联车辆提高交通通行效率的方法

本发明公开了一种利用智能网联车辆提高交通通行效率的方法,该方法采用PPO强化学习算法优化智能网联车的驾驶策略,并且通过对交通流动态信息统计方法的创新,提出了等效密度概念,并以此优化设计了PPO算法的观测空间和奖励函数,加快了算法的优化效率。最终,通过在SUMO交通仿真平台上进行实验,验证了所提方法的有效性。实验结果表明,本发明可对路网中交通拥堵产生的走停波进行消散,缓解了交通拥堵,有效提升了通行效率。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基站天线参数调整方法、装置、电子设备及存储介质

本申请实施例提供了一种基站天线参数调整方法、装置、电子设备及存储介质,涉及无线通信领域。该方法包括:根据基站的覆盖区域的用户设备发送的无线测量报告,确定覆盖区域的信号强度;接着,若覆盖区域的信号强度小于目标信号强度,根据天线参数调整模型和覆盖区域的地面状态信息,确定待调整的天线参数,其中,天线参数调整模型是预先基于目标区域的地面状态信息、目标区域的所有基站和所有基站各自对应的覆盖区域的地面状态信息进行强化学习训练得到的,基站是目标区域的所有基站中的一个;接着,对待调整的天线参数进行调整,以使得调整天线参数后的覆盖区域的信号强度不小于目标信号强度。本申请实施例可自动快速计算出天线参数调整方案。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
铽和金属双掺杂硅酸镁剂量片及其制备方法

本发明提出一种以硅酸镁作为主体,铽和金属双掺杂硅酸镁剂量片及其制备方法。硅酸镁是斜方晶系,具有很好的物理和化学稳定性,稀土掺杂硅酸镁材料具有非常好的热释光灵敏度。本发明通过高温固相法制备出双掺的Mg2SiO4(Tb;金属)固体热释光剂量片,该剂量片对X射线极为敏感,是目前市场上使用的商用LiF:Mg、Cu、P热释光剂量片的敏感度的7‑9倍,在固体热释光剂量监测领域具有很好的应用价值。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多用途户外运动鞋
多用途户外运动鞋 1153     
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本发明公开了一种多用途户外运动鞋。所述运动鞋包括复合鞋底、复合鞋垫和复合鞋面布;所述复合鞋底由EVA注塑中底、橡胶外底和注塑足弓支撑架依次复合而成;复合鞋垫由改性EVA发泡鞋垫与鞋垫布复合而成;复合鞋面布由依次叠加的鞋面料和鞋里衬组成;鞋垫布为麻纤维与化学纤维的混纺布;鞋面料为由纤维经混纺得到的混纺织物。本发明提供的运动鞋具有较好的减震功能,较好的前掌抗弯折性能和中底抗扭力功能。经测试,常温曲折10万次,无裂面、无开胶;零下20度低温曲折4万次,无裂面、无开胶。本发明提供的运动鞋具有较好的防滑性能。本发明提供的运动鞋具有较好的耐老化性能和耐水洗性能。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
二点织螟引诱剂及其应用

本发明提供了一种二点织螟引诱剂及其应用。所述二点织螟引诱剂组分为顺‑7‑十二碳烯乙酸酯,顺‑11‑十六碳烯‑1‑醇及反‑9‑十四碳烯‑3‑甲硫基丙酸酯。所述顺‑7‑十二碳烯乙酸酯,顺‑11‑十六碳烯‑1‑醇及反‑9‑十四碳烯‑3‑甲硫基丙酸酯的质量比为3:2:(0.5~2)。本发明的二点织螟引诱剂能大量引诱二点织螟雄蛾,能有效降低雌雄交配概率,减少后代危害。该引诱剂可准确应用于对二点织螟的虫情测报和大量诱杀,避免或减少施用化学农药,对二点织螟的综合治理具有重要意义。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
铝镁合金粉体及其制备方法与应用

本发明公开了一种铝镁合金粉体及其制备方法与应用,在所述粉体中含有铝元素、镁元素和氧元素,其中铝元素和镁元素的总质量含量达到98.5%以上,所述铝镁合金粉体的实测燃烧热值在27.5‑30.5kJ/g,其粒度范围在1μm~200μm之间,其密度值为2.16g/cm3~2.62g/cm3。所述制备方法包括:以金属铝和金属镁为原料,于保护性气氛下进行熔化、雾化、冷凝以及任选的筛分处理,得到所述铝镁合金粉体。本发明利用镁的化学性质更加活泼,反应中能够更加迅速的参与氧化,进而缩短铝粉的点火延滞期,提高含能体系的燃烧速率,同时,本发明所述铝镁合金粉体具有高致密性、高球形度、高活性、低含氧量等优点。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
清洗装置
清洗装置 859     
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本发明公开了一种清洗装置,通过第一清洗槽、蒸汽围栏、冷空气围栏和移动组件,充分融合化学清洗、物料清洗和机械清洗三种方式,使PCBA的清洗效果更好;在清洗过程中,PCBA会经过蒸汽围栏和冷空气围栏两次,经过第一清洗槽一次,即PCBA会经过多次清洗,从而增强了对PCBA的清洗效果,且清洗效果为离子污染度测试值≤0.3μg/cm2;本方案的清洗为自动清洗,实现对PCBA的批量清洗,符合自动化生产的大趋势。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于分布式群智学习的多车协同规划方法

本发明公开了一种基于群智学习的多车协同规划方法,属于多车路协同决策技术领域。本发明中,利用边缘服务器减轻了车辆计算能力与通信能力的要求;利用演化博弈来建模路由规划中车辆之间不断博弈的过程,当博弈状态形成一个稳定局面时,每辆车得到自身利益最大化的路由决策;在每辆车上部署路口通行驾驶决策模块,将车辆看成一个独立决策的个体,利用深度强化学习强大的策略学习能力建模多车在路口的协同驾驶行为;在路侧边缘计算部署交通态势预测模块,利用多车路的通信能力来扩大车辆有限视野下对交通态势的感知。本发明优化了道路资源的不同方面,优化了路口的时空利用,优化了路口周围道路资源的时空利用,增大路口的吞吐量。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
过程单元设备综合实验装置

本发明公开了一种过程单元设备综合实验装置,包括气体压缩设备实验模块、液体输送设备实验模块、混合反应及分离设备实验模块、精馏设备实验模块、吸收设备实验模块、传热设备实验模块、阀门性能实验模块、管路特性与流型观测实验模块、公用工程系统、供配电系统和集中控制系统。不同实验模块在集中控制系统的调控下,可以相对独立运行,完成不同类型过程单元设备的实验项目,也可以多模块联动运行,实现低浓度乙醇溶液配制、预热、精馏浓缩和尾气吸收大型综合实验。既可以满足过程装备与控制工程、能源与动力工程、环境工程、油气储运工程等专业的过程单元设备类实验教学及科学研究需求,又能满足化学工程、化工工艺等专业的一些实验教学要求。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
气体换热式反应器及硫酸催化分解方法

本发明属于化工领域,以及热化学循环制氢领域,尤其涉及一种气体换热式反应器,及利用该反应器进行的硫酸催化分解方法。本发明提出的气体换热式反应器,依靠高温气体进入外壳,加热其内设置的多个刺刀管内部换热式反应器组件,组件为套管结构,内外管之间的环隙容纳催化剂,并使经过其中的反应物料在加热条件下发生催化反应。该反应器的反应物料暂存区与附属输送泵、附属冷却器相连,部分反应物料被循环降温,从而确保管板与刺刀管内部换热式反应器组件之间,以及管板与测温组件之间的密封件不会因超温而发生损坏。该反应器可利用高温气体作为加热介质,实现硫酸的高效催化分解。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
适用于辐射剂量计的含碳酸根羟基磷灰石材料制备方法

本发明提供了一种适用于辐射剂量计的含碳酸根羟基磷灰石材料制备方法,包括以下步骤:将一定质量的硝酸钙四水溶液逐渐滴加到磷酸氢二铵(NH4)2HPO4(或磷酸氢二钠Na2HPO4或磷酸氢二钾K2HPO4)和碳酸氢铵NH4HCO3(或碳酸氢钠NaHCO3或碳酸氢钾KHCO3)的混合溶液中进行共沉淀法化学合成,合成过程中严格控制Ca/P的摩尔比,C/P的摩尔比,反应物加注速度,体系PH,反应温度和时间等参数;反应完成后密闭静置陈化,然后过滤、干燥、研磨,最终制备成适用于辐射剂量计的含碳酸根羟基磷灰石材料粉末。该含碳酸根羟基磷灰石剂量计经0.5Gy、1Gy、2Gy、5Gy、10Gy60Coγ射线照射以及ESR波谱测量后,其辐射诱发信号强度不同,并与受照剂量大小呈线性相关。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有拟薄水铝石晶相结构的硅铝催化材料

一种具有拟薄水铝石晶相结构的硅铝催化材料,以氧化物重量计,其无水化学表达式为:(0~0.2)Na2O·(30~33)SiO2·(67~70)Al2O3,其比表面积为300~500m2/g,孔容为0.5~1.5ml/g,平均孔径为8~15nm,其特征在于该催化材料200℃测得的吡啶红外B酸与L酸的比例为0.085~0.100。该酸性硅铝催化材料中孔特性明显,孔分布集中,同时含有B酸和L酸中心,且B酸与L酸比例明显提高,材料具有更好的轻油微反活性。另外,本发明所提供的酸性硅铝催化材料具有更高的结晶度。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
NiFe-LDH镍基电极的快速制备方法与应用

本发明公开一种NiFe‑LDH镍基电极的快速制备方法与应用,属于电解水制氢和阴离子交换膜电解水技术领域,该制备方法,包括以下步骤:S1、在常温常压下,将清洁后的镍基基底材料浸入三价铁(Fe3+)刻蚀溶液中进行化学刻蚀,静置适当时间使其充分反应,随后取出干燥;S2、将步骤S1中得到的材料浸入强碱性溶液中进行浸泡处理,静置适当时间使其充分反应,随后取出干燥;S3、将步骤S2制备好的电极材料组装成为膜电极,装入阴离子交换膜电解水槽单电池进行测试,使其工作时能够稳定将电能转换为氢能。本技术方案可快速、低成本、绿色和大批量的制备电解水阳极电极,克服了目前同领域中电极制备方法繁琐的弊端,有望推动碱性膜电解水制氢技术的商业化发展了。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于图像域的机械臂高效操控归置学习奖励训练方法

本发明公开了一种基于图像域的机械臂高效操控归置学习奖励训练方法,实现杂乱场景中机械臂自主归置物体任务。该任务中,由于空间受限、复杂碰撞等约束的存在,导致终止状态是不可预测的,从而对奖励函数的设计带来了困难。本专利对强化学习的奖励是“步骤奖励”和“完成奖励”的组合,通过在图像域中合并来量化终端状态的性能,这将引导终端状态收敛到一个更好的域,而不是特定的值。以鼓励快速排列盒子中分散的对象,同时最小化对象之间的间隙,对不同数量、不规则形状的物体以及间断情况具有更好的适应性。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于催化氧化CO的贵金属催化剂及其制备方法

一种用于催化氧化CO的贵金属催化剂及其制备方法,属于催化化学领域。采用一步机械球磨法在锐钛矿TiO2表面负载贵金属Pt、Ag、Pd、Rh、Ir、Ru、Os或Au中的一种或两种以上。并添加助剂Co、Cr、Zr、Sn、Mo、W、Fe、Ce、Ni、Nb等中的一种或两种以上。催化剂各组分含量分别是:TiO2为78~98.9wt%,贵金属为0.1~2wt%,助剂为1~20wt%。该催化剂在140℃左右可实现CO完全转化,在温度180℃左右,且有SO2和H2O存在条件下,具有较好抗硫抗水效果,连续测试60小时左右,催化效果可维持在95%以上。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于HRTEM量化煤晶格条纹长度的方法

本发明属于煤化学中高分辨率透射电镜测试及图像处理技术领域,具体涉及一种基于HRTEM量化煤晶格条纹长度的方法;包括以下步骤:1)利用DigitalMicrograph与ImageJ软件对电镜原始图像进行去噪,二值化处理;2)利用ArcGIS软件得到单个二值化面矢量图的周长(C)和面积(S);3)人工划线提取晶格条纹,得到条纹长度(L),加权平均求得La;4)通过SPSS Statistics软件对条纹长度(L),二值化面矢量图的周长(C)和面积(S)进行多变量线性拟合,得到公式:L=0.3C+S;5)验证公式的准确性以及合理性。结果表明,此公式与人工提取得到的晶格条纹分布吻合度较好,准确度高,极大地减少了原始处理方法的时间,提高了效率,且可用于不同煤级煤的研究中,进而还可以应用在某些碳材料上。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高质量晶圆级硒氧化铋半导体单晶薄膜的批量化制备方法

本发明公开了一种高质量晶圆级硒氧化铋半导体单晶薄膜的批量化制备方法。该方法包括:以含有Bi元素和Se元素的化合物为原料,以单晶晶圆为生长基底,进行化学气相沉积,得到所述Bi2O2Se薄膜。本发明利用外延面对称性一致的共格外延方式生长取向一致的单晶Bi2O2Se,通过延长生长时间,制备得到了由取向一致的单晶Bi2O2Se晶粒拼接而成的连续单晶薄膜。该方法工艺流程简单,操作容易,成本低,薄膜尺寸大,并可有望应用于晶圆级Bi2O2Se单晶薄膜的批量化生产;为Bi2O2Se半导体薄膜在光电探测器或场效应晶体管等领域的应用奠定了基础。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
长寿命高温封严涂层材料及其制备方法

一种长寿命高温封严涂层材料及其制备方法,属于航空发动机及燃气轮机技术领域。长寿命高温封严涂层材料,由NiCoCrAlY粉末、聚苯酯和粘结剂三种组分复合而成,以重量计三种组分百分比为:聚苯酯,6~15;粘结剂,0~7;NiCoCrAlY粉末,余量;其中,所述NiCoCrAlY粉末的化学成分,以重量计百分比为:Co,21~23;Cr,24~26;Al,6~8;Y,0~1;Ni,余量。本发明提供的长寿命高温封严涂层材料制备的多孔MCrAlY涂层,在1000℃循环氧化1700h不脱落,而常规方法制备的涂层在同等测试条件下循环氧化约500h即脱落,本发明得到的多孔MCrAlY涂层抗氧化寿命显著提高。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
超高密度单壁碳纳米管水平阵列及其可控制备方法

本发明公开了一种超高密度单壁碳纳米管水平阵列及其制备方法。该方法,包括如下步骤:在单晶生长基底上加载催化剂,退火后,在化学气相沉积系统中通入氢气进行所述催化剂的还原反应,并保持氢气的通入进行单壁碳纳米管的定向生长即得。该方法制备得到超高密度单壁碳纳米管水平阵列的密度超过130根/微米,这是目前世界上已报道直接生长密度最高的单壁碳纳米管水平阵列。对本发明制备的超高密度单壁碳纳米管水平阵列进行电学性能测试,其开电流密度达到380μA/μm,跨导达到102.5μS/μm,均是目前世界上碳纳米管场效应晶体管中的最高水平。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
诱捕柠条绿虎天牛的方法

本发明公开了一种诱捕柠条绿虎天牛的方法,该诱捕柠条绿虎天牛的方法的成分为异福尔酮,即3,5,5-三甲基-2-环己烯醇,将配制好的引诱剂放入装有脱脂棉的白色离心管内,置于白色塑料瓦棱板制成的三角形诱捕装置内,用于诱捕柠条绿虎天牛雌、雄成虫。本发明的诱捕柠条绿虎天牛的方法,不论是用作虫情测报,还是以诱捕法直接防治柠条绿虎天牛,均有利于保护天牛的天敌,兴益除害,从而提高防治柠条绿虎天牛的效果,此外,还可减少化学农药的用量,减轻污染,保护环境,具有显著的社会效益和生态效益。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
磁补偿式霍尔电流传感器用非晶磁芯制法

本发明用于磁补偿式霍尔电流传感器的切割磁 芯。本发明的成分为FczNiyMxSi7-10B12-15(其 中M为Mo或Mn,x为0-5,y为0-40,z为 36-78),经过特殊的部分晶化退火或横磁场退火,使 剩磁降低和改善高频特性,最后采用半柔性环氧树脂 进行封装固化和切割而成。与传统坡莫磁芯相比,本 发明非晶磁芯的重要优点是原材料和制造成本低、易 于制造,有优良的频率特性和更低的剩磁和矫顽力, 可改善传感器的响应时间和精度。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基板及显示装置
基板及显示装置 966     
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本发明涉及基板制造技术领域,公开了一种基板及显示装置。所述基板的材料组成主要包括聚对苯二甲酸乙二醇酯-1,4-环己烷二甲醇酯(PETG)和聚碳酸酯(PC)。采用聚对苯二甲酸乙二醇酯-1,4-环己烷二甲醇酯与聚碳酸酯以及其他助剂等通过聚合物共混,制备了具有优异性能的单层及层叠结构的基板。尤其制备了玻璃层为内部夹层,PETG、PC、玻璃纤维及其他助剂共混材料为外层的基板。制备出的基板通过测试发现其具有良好的透光性及耐温性,其耐酸碱,化学稳定性良好,水汽透过率低,具有优异的加工性能,生产效率高,耗能小,环保,质量稳定。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
跨协议负载均衡方法及系统

本发明提供跨协议负载均衡方法及系统,属于通信设备技术领域,在不发送主动探测探针的情况下,收集网络中每一个节点的状态信息;对状态信息进行针对跨协议负载均衡的强化学习算法运算,并将得到的结果映射为负载均衡决策,发送给网络控制器;将负载均衡决策从网络控制器对应的发送给每一个可编程路由节点;可编程路由节点作为数据平面节点对负载均衡决策进行处理,判断是否需要跨协议操作。本发明在同种网络层协议节点负载较低时将流量按比例分配至同种网络层协议节点,避免了跨协议均衡的操作,减少了跨协议处理的开销;在负载高时,将流量引入非同种网络协议的节点下,从而充分地利用异构网络下每一种网络协议的交换节点,使网络运行更加高效稳定。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新能源用车耐低温电源系统

本发明公开了一种新能源用车耐低温电源系统,其结构包括电池箱、电源接头、安装固定条、扣合条,电池箱由箱体、加热机构、电源体、平衡机构、动力机构、隔温装置、散热导管组成,电池箱利用温度传感器对外界的温度进行感应,当温度低于度时,通过加热机构对电池箱内部进行升温,进而提高电源体高效率放电状态,避免电源体的化学反应转化电能能力减弱,利用保温板将加热丝与电源体分隔,避免加热丝产生的热能过高直接烧坏电源体,当温度传感器感测到温度低于零度时,电池箱暴露在外界底部会出现结冰层,通过隔温装置配合破冰刺将结冰层破除,提高加热机构的加热效果。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
硅酸盐基荧光粉
硅酸盐基荧光粉 762     
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本发明提供了一种硅酸盐基荧光粉。该硅酸盐基荧光粉的化学通式为:Caa‑x‑yMbSi1‑cRcO4‑zNz:ESxREy,其中,1.3≤a≤1.7,0.7≤b≤0.3,0≤c≤0.5,0≤x≤0.5,0≤y≤0.5,0≤z≤2,1.9≤a+b≤2.1;该硅酸盐基荧光粉的结晶相在2θ角为29.74°、30.04°、32.68°、32.96°、33.22°和33.32°的位置具有衍射峰;衍射峰由CuKα射线测得。该硅酸盐基荧光粉具有较高的热稳定性和量子效率,能够在从紫外线到蓝光的波长区域内被有效激发,发出高强度的宽光谱绿‑黄光。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
二点委夜蛾的高效引诱剂及其应用

本发明公开了属于生物防治技术领域的一种二点委夜蛾高效引诱剂及其应用。其中所述引诱剂成分通式为ROCOCnHaXb,所述引诱剂通式中n=2、3、4,X=F、Cl、Br,a=1~7,b=(2n‑1)‑a。本发明的二点委夜蛾引诱剂可以更有效地诱杀二点委夜蛾雄虫,减少交配频率,减少世代交替次数,将二点委夜蛾发生量控制在经济阈值之下,从而达到防治二点委夜蛾的目的。本发明不仅用量少、化学性质稳定且对环境友好,还可准确应用于二点委夜蛾的虫情测报、大量诱捕、干扰交配,对于综合治理二点委夜蛾具有重要意义。

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化学分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
硫化物固体电解质的制备方法

本发明涉及到一种无机硫化物固态电解质的制备方法,属于锂离子电池领域。本发明针对硫银锗矿固体电解质Li6PS5Cl的一次固相烧结方法容易在制备过程中发生形变和产生气孔、卷曲等缺陷,在一次烧结制备方法的基础上进行改进,得到新型的二次烧结制备方法。特点是将一次烧结获得的固体电解质片粉碎后再次压片,并在稍高的温度下再次进行烧结,该新型工艺有利于均化晶粒尺寸,使晶粒总体尺寸变大,提高结晶度和致密度。同时能够排除一次烧结中未能挥发的残余气体,避免了电解质片形变和缺陷的产生,得到的固体电解质表面更均匀,结构更致密,便于进行后续的表征和电化学测试,还能提高硫化物固体电解质的离子电导率。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置

一种进行离子辐照实验的ECR-PECVD装置,该装置包括微波源、通电线圈、进气管、手持式红外测温仪、可视窗口、加热炉、抽真空管道、水冷管、样品、绝缘陶瓷片。设备的腔体上端附有通电线圈,为等气体电离提供磁场;在腔体的一侧设有进气管,底端设有抽气管道,另一侧设有可视窗口。ECR-PECVD设备在化学气上沉积方面有很大的应用,但经过改造后在面向等离子体材料的研究方面也能起到至关重要的作用。其中在样品上加负偏压在150V左右是束达到2x1020He·m-2·s-1,并能够在此参数下稳定长时间的工作;此设备在温度可控的条件下能够进行各种参数的调节,能够稳定的进行工作解决了低能高束流设备短缺的问题。

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北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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