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本发明属半导体铜互连化学机械抛光工艺领域,具体涉及一种粗糙打磨垫化学机械抛光工艺模型的建立方法。该方法采用概率密度函数来表征打磨垫表面的高度特性,用自相关函数来表征打磨垫表面的横向特性,并采用谱展开方法和非线性变换方法生成符合给定概率密度特性的打磨垫粗糙表面。本发明方法不需要对打磨垫表面做任何的几何简化和近似,可以严格地表征打磨垫表面任意随机分布的几何特性,本方法利用接触力学方程精确求解打磨垫粗糙表面和芯片表面的接触问题,从而实现对整个化学机械抛光工艺的建模,可用于检测化学机械抛光工艺的结果。
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本发明提供一种单粒子电化学模型计算装置及方法，所述装置包括：多个电化学计算模块，用于根据储能系统内电池数据计算储能系统内电池内部性能，并输出计算结果；通信模块，与多个电化学计算模块相连，用于向各所述电化学计算模块传入所述储能系统内电池数据并将各所述电化学计算模块输出的计算结果传出；数据转发模块，分别与所述通信模块、储能系统以及云端服务器相连，用于从所述储能系统获取电池数据，将所述电池数据转发给所述通信模块，并将所述通信模块传出的计算结果转发至所述云端服务器。本发明在本地储能电站系统中实现对电池内部电化学状态量的计算，减少电池分析计算时间，实现对电池内部老化精准的分析。
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本发明涉及血液病毒灭活效果质量评价领域。本发明解决了现有技术中MB-P灭活效果质量评价方法价格贵,周期长,不适合在常规工作中开展的问题,公开了一种新的亚甲蓝光化学病毒灭活效果质量评价检测方法,包括以下步骤:在对血液或血液制品进行灭活的同时,对质控品进行相同条件的灭活,质控品含HCV病毒基因的重组质粒或含HCV病毒基因体外转录的RNA片段,通过特异性引物,利用PCR技术扩增质控品中HCV病毒基因的特定区域,通过对PCR结果的监测,从分子水平对亚甲蓝光化学病毒灭活效果进行质量评价。同时还公开了其质控品。本发明操作简单,准确度好,实验周期短,需要的实验条件容易达到,更为经济有效。
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本发明涉及一种石墨烯量子点修饰的电化学传感器及其制备方法和应用，该传感器采用三电极体系，以石墨烯量子点修饰后的金电极为工作电极。本发明采用化学键将石墨烯量子点的羧基与改性后的金电极表面的氨基结合，构筑石墨烯量子点电化学传感器。以石墨烯量子点修饰后的金电极为工作电极，使用计时电流法测定H2O2浓度的工作曲线。本发明测定H2O2浓度的线性范围为2μM～8mM，检测下限为1.3μM。同时，该传感器能够实时的检测活细胞释放的H2O2含量，且响应快，线性范围宽、检测极限低等优点，对于因ROS引起的疾病的诊断检测具有重要意义，应用前景广泛。
本发明涉及一种电化学合成重构MAX相制备微纳米多孔多层碳基材料方法，首次将熔盐电化学还原与电化学辅助刻蚀技术相整合，实现直接制备纳米多孔多层碳基材料。以金属氧化物MxOy、AxOy和碳粉为初始原料，首先将混合均匀的金属氧化物MxOy、AxOy和碳粉混合物压制成多孔阴电极。以氧化钇稳定氧化锆透氧膜组装电极为阳极，以分析纯无水CaCl2为熔盐电解质，刚玉坩埚为电解池。首先通过电化学熔盐电解还原金属氧化物MxOy、AxOy和碳粉混合物合成微纳米三元碳化物MAX相。然后再以得到的三元碳化物MAX相作为阳极，石墨碳棒为阴极，采用电化学刻蚀方法，选择性直接制备得到多孔纳米金属碳化物或层状结构多孔碳材料。该方法可以由廉价金属氧化物和碳粉直接制备纳米多孔多层碳基材料，成本低、工艺简单、易于控制其产物形貌及有序性。可望提供一条全新纳米多孔多层碳基材料合成新方法。
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本发明公开了一种电化学传感器用硫化银石墨烯复合材料及其制备方法。本发明采用有机相合成了不同尺径的硫化银纳米材料，并选择电化学响应最好的，粒径最小的Ag2S纳米颗粒为基础，通过一步法合成了Ag2S和还原型石墨烯(RGO)的复合材料，进一步提高灵敏度。并成功进行玻碳电极修饰后，用于实现对微量加替沙星的电化学检测。同时，通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜‑X射线能谱(SEM‑EDS)以及各种电化学方法对材料的结构、形貌、电化学行为等进行了表征和研究。采用电化学检测法具有低成本、响应快、设备简单、灵敏度高、可靠性好等优点，便于实现对微量、痕迹量药物的快速检测。
本发明涉及一种基于AgNFs‑Pt纳米复合材料的无酶电化学过氧化氢传感器及制备。将AgNO3溶液与牛血清白蛋白溶液混合，搅拌后加入抗坏血酸溶液，反应得到AgNFs溶液，离心洗涤，再在洗净后的材料中加入H2PtCl6溶液，反应后将溶液离心洗涤得到AgNFs‑Pt溶液，将AgNFs‑Pt溶液滴在电化学传感器工作电极表面，制成基于AgNFs‑Pt纳米复合材料的无酶电化学过氧化氢传感器。与现有技术相比，本发明无酶电化学过氧化氢传感器的构建方法简单安全快捷，且具有很高的灵敏度，宽阔的线性检测范围和低检测极限，能够在极低双氧水浓度下检测到信号。同时，组装所需的纳米材料合成方法绿色环保，简单易操作，催化效果良好，可作为一种新型无酶纳米催化材料。
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本发明提供一种化学机械抛光工艺中确定研磨时间的方法,该方法中所述研磨时间由自动处理系统反馈给用于化学机械抛光的设备;所述自动处理系统通过上述抛光设备最近若干批硅片的研磨参数来确定下一批硅片的研磨时间;所述研磨参数包括最近M批硅片各自的研磨时间、最近一次检测到的研磨速率RT、及最近M批硅片的平均研磨速率RM;通过RT与RM的比值来修正研磨时间。本发明揭示的在化学机械抛光工艺中确定研磨时间的方法,考虑到了每天CMP机台研磨速率的变化和差异,用修正系数RT/RM来修正研磨时间,这种方法确定的时间将更精确。
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本发明属于生物医学检测领域，具体涉及一种Ficolin-3电化学免疫传感器及其制备与应用。本发明所述电化学免疫传感器，包括工作电极，所示工作电极包括基底电极和捕获分子，所述基底电极选用玻碳电极，所述捕获分子选用Ficolin-3单克隆抗体。与传统的Ficolin-3检测手段相比，本发明的电化学免疫传感器具有如下优点：（1）灵敏度高，检测限低至100?ng/mL；（2）检测时间缩短三分之一，准确性强；（3）本发明所构建的电化学免疫传感器不需要对工作电极中的基底电极做修饰，制作及操作更简单，成本低，应用前景广阔。
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本发明提供了一种动力锂离子电池电化学参数辨识方法及系统，包括：步骤M1：建立传递函数形式的电池的电化学模型；步骤M2：进行锂离子电池实验，采集锂离子电池在不同工况下的实验数据；步骤M3：将采集到的电池在不同工况下的实验数据作为电化学模型的输入，对电池的电化学参数进行参数敏感性分析；步骤M4：根据电池的电化学参数敏感性分析，完成锂离子电池在不同工况下所有电化学参数的辨识；所述电化学模型是电池的机理模型，是对电池内部电化学参数辨识的基础。本发明通过预先在实验室对电池不同温度，不同工况下的实验数据进行采集，然后基于电池伪二维传递函数模型进行参数辨识，可方便快捷得到电池电化学参数。
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本发明涉及一种自供能式光电化学传感器及其制备方法与应用。以FTO导电玻璃为基体，制备了WO3与TiO2异质结作光电阳极，电沉积金纳米粒子修饰的层状碳插层超薄二硫化钼微球作光电阴极，并构建了基于水/氧自循环的自供能式光电化学传感体系。该体系无需外加推动力及电子供受体，基于水/氧循环既实现了自供能又降低了体系背景干扰。通过电化学技术引发邻苯二胺的聚合反应在光电阴极合成了特异性识别磷酸氯喹的分子印迹膜。以模拟太阳光作为激发光源，在CHI‑660e工作站上采用i‑t技术进行磷酸氯喹浓度的检测。本发明传感器光电化学响应灵敏，检测范围宽，抗干扰能力强；而且制备方法简单快速、成本低，可适用于临床血清和水体的快速在线检测。
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本发明涉及一种土壤化学氧化修复技术中氧化剂选择方法，包含：(1)确定污染物及污染场地、(2)评价指标体系的构建、(3)指标权重的确定、(4)指标的标准化及分级、(5)氧化剂选择指数的确定、(6)氧化剂选择结果分析。通过理论分析法和层次分析法制定各准侧层及其所含评价指标的权重，进行标准分级和赋分确定各指标分值，运用多目标加权法得出目标层的综合评价指数，并对综合评价指数的分析，判定修复效果评估等级。本发明具有科学、直观、可操作性强的优点，在一定程度上弥补了我国土壤化学氧化修复技术中氧化剂选择体系构建方面的不足之处，可对当前的土壤化学氧化修复技术中氧化剂选择方法提供参考和借鉴。
本发明提供一种高灵敏度化学发光免疫诊断试剂，包括：包被有第一抗原/第一抗体的磁珠、生物素标记的第二抗原/第二抗体、以及链霉亲和素标记的化学发光试剂，第一和第二抗原用于特异性结合待检测样本中的待检测抗体，第一和第二抗体用于特异性结合待检测样本中的待检测抗原。较佳地，第一和第二抗体均为HIV anti‑protein24或抗‑HBsAg抗体。第一和第二抗原均为HIV‑I型融合抗原和HIV‑II型抗原、或者HCV融合抗原。化学发光试剂是吖啶酯或吖啶磺酰胺。还提供了一种消除两步法免疫试剂HOOK效应的方法。本发明的高灵敏度化学发光免疫诊断试剂能够大幅度提高免疫诊断试剂灵敏度，提高检测准确性。
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本发明涉及一种石墨烯量子点修饰的电化学生物传感器及其制备方法。该电化学生物传感器为三电极体系传感器,所述的三电极中的对电极是铂电极,参比电极是饱和甘汞电极,工作电极为表面包覆有1～4层石墨烯量子点的玻碳电极。本发明的石墨烯量子点修饰的电化学生物传感器能成功识别最低浓度为50nM的目标单链DNA的电化学生物传感器,当有目标单链DNA时,取等量互补单链DNA与其形成双链DNA,其电化学信号与仅有互补单链DNA有明显差别,便能起到快速检测目标单链DNA的作用。而且该段单链DNA不需巯基或荧光基团修饰,应用方便。本发明所检测的单链DNA是一段任意序列的核酸,理论上,该发明适用于不能形成内部双链的任意单链核酸序列,因此,将其置换成跟疾病相关的特异序列基因,即可用于疾病相关的基因检测,应用前景广泛。
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本发明涉及一种化学机械研磨装置，涉及半导体器件的生产过程，包括一光学影像检测仪及一研磨装置控制装置，所述光学影像检测仪用于获取化学机械研磨装置内的修整盘于修整化学机械研磨装置内的研磨垫前的影像及于修整所述研磨垫后的影像，所述研磨装置控制装置连接所述光学影像检测仪，接收所述光学影像检测仪获取的所述修整盘于修整所述研磨垫前的影像及所述于修整所述研磨垫后的影像，并基于所述修整盘于修整研磨垫前的影像及所述于修整研磨垫后的影像输出一控制信号，所述控制信号控制所述化学机械研磨装置的工作，以提高半导体器件的良率。
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本发明公开了一种化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法,包括以下步骤:第一步,测量不同使用时期研磨垫的研磨垫沟槽深度和研磨垫厚度,从而确定研磨垫的不同区域的切削速度;第二步,设定修正盘在研磨垫不同区域的停留时间;第三步,检测研磨垫不同区域的研磨粒和化学机械抛光的研磨速率;第四步,测量使用到寿命的研磨垫的研磨垫沟槽深度和研磨垫厚度;第五步,针对上面几步的检测结果设定修正盘在研磨垫不同区域的压力;第六步,重复第三步到第五步,直到找到适合的压力参数,使研磨垫各个区域的面内损耗和沟槽深度趋于一致。本发明通过对研磨垫各个区域压力的设置,使研磨垫的切削更均匀,可以延长研磨垫的使用寿命,降低生产成本。
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本发明公开了一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法，包括药液桶、供给混料机构、换液升降机构、流量检测组件和倾斜施力机构，倾斜施力机构设置在换液升降机构的侧边，用于推动药液桶绕其底面的棱边朝向供给混料机构旋转，以使得供给混料机构及时泵取到药液桶底部的化学药液；控制系统，分别与供给混料机构、换液升降机构、流量检测组件和倾斜施力机构连接，控制系统根据流量检测组件的实时测量结果调控供给混料机构的泵取工作，且控制系统根据流量检测组件实时测量结果计算药液桶的剩余液量，控制系统基于计算的剩余液量依次调控倾斜施力机构和换液升降机构工作。本发明避免将药液倾斜聚集，保证化学药液的配比比例精度。
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本发明公开了一种化学机械抛光液的制备工艺:将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组,平行的将每组的成分分别进行混合,得到各中间预混物,对中间预混物进行质量控制测试,全部中间预混物检测合格后,进行混合,制得化学机械抛光液。本发明的制备工艺缩短了大规模生产的工艺流程时间,极大地提高了产能,降低了生产成本,并且增加了工艺流程质量控制点,提高了质量控制水平,使产品质量保障得到极大提升,降低了生产质量事故风险,因而具有明显的经济价值。
本发明公开了一种基于化学成分的打叶复烤产品均匀性系统调控的方法及其应用，属于烟叶打叶复烤加工工艺。该方法依次包括原料入库检测工序，烟叶配方挑选投料一次配比工序和打叶复烤投料二次配比加工工序。主要核心是通过原料入库检测、烟叶配方挑选、在线检测等过程将不同化学值的烟叶原料加以区分，再以烟叶的特定化学成分的目标值进行配比调控，最终提高成品片烟的内在质量均匀性。本发明方法从目前打叶复烤工艺流程的前端进行内在化学成分的调节，解决了以往烟叶打叶复烤加工中化学成分难以有效控制的问题，比起现有工艺流程具有调控主动，方法简便，易于操作等优点。
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本申请提供一种化学品的循环管路流量控制系统及其控制方法，该系统包括：存储容器，其用于存储化学品；循环管路，其两端分别连接于所述存储容器的出口和入口，化学品能够在所述循环管路和所述存储容器中循环流动；分配管路，其与所述循环管路连接，将所述循环管路中的部分化学品引导出所述循环管路；压力传感器，其设置于所述循环管路，用于检测所述循环管路中化学品的压力值；电动阀，其设置于所述循环管路，所述电动阀的开度用于调整所述循环管路中化学品的流量从而调整化学品在所述循环管路中的压力；以及控制器，其根据所述压力传感器检测到的压力控制所述电动阀的开度，并显示所述压力传感器检测到的压力值。
本发明公开一种叶酸定量检测的装置及制备方法和应用，所述叶酸定量检测的装置包括水相池和油相池；所述水相池包括上端开口的容器、水相铂丝对电极Ⅱ，水相参比电极Ag/AgCl;所述油相池包括有机凝胶电化学传感器、油相铂丝对电极Ⅰ，油相参比电极Ag/AgCl；所述的有机凝胶电化学传感器为底部粘有MCM-41型有机/无机复合介孔膜而上部开口的中空管，且中空管中自底向上依次装有有机凝胶、混合溶液。制备方法包括MCM-41型有机/无机复合介孔膜、有机凝胶、有机凝胶电化学传感器的制备和叶酸定量检测的装置组装等4个步骤。利用该装置对叶酸进行定量检测的方法具有很高的灵敏度、精密度、准确度、回收率和重现性。
本发明公开了一种基于介孔分子筛的电化学发光传感器及其制备方法和应用，利用介孔材料ZSM-5大的比表面积、规则的孔道结构和大的吸附容量等优点，结合Nafion膜较好的阳离子交换性能，于玻碳电极表面构建一层ZSM-5/Nafion纳米膜，将其固载大量的发光试剂三联吡啶钌（Ru(bpy)32+），构建基于Ru(bpy)32+/ZSM-5/Nafion的电化学发光传感器，并对药物阿奇霉素进行电化学发光检测。结果表明，采用电化学发光方法，介孔ZSM-5纳米材料修饰电极可提高检测阿奇霉素的灵敏度，检测的浓度线性范围宽，检测限低，并且具有良好的稳定性、重现性等传感特性。
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本实用新型属于化学反应装置技术领域，具体为一种电化学、质谱和红外光谱技术联用的控温多功能流动电解池。其包括参比电极、辅助电极、疏水透气膜、玻璃杯体、两块圆形板、螺旋测微头、热电偶、陶瓷加热圈、聚四氟乙烯管等；参比电极、辅助电极和光学窗口上的催化剂与电化学工作站相连实现电化学测试和数据采集；质谱进样管与催化剂表面距离通过螺旋测微头精准调节，实现反应界面质谱信号的采集和检测；电解液温度通过池体外侧加热套和池体内侧热电偶精准控制；红外光通过池体外侧射入光学窗口，实现反应界面物种的分子水平检测。本实用新型可成为基于电化学反应的电解、电化学合成、生物电化学和电化学传感器等方面研究和应用的强有力工具。
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本发明提供了一种可提高抛光性能的化学机械抛光方法。现有技术中的第一阶段抛光依据所检测到的抛光终点终止抛光,从而使整个抛光过程难以控制而出现过抛凹陷及腐蚀或被抛光层残留等抛光性能不佳的问题。本发明的可提高抛光性能的化学机械抛光方法包括第一阶段和第二阶段抛光,该第一阶段抛光的压力大于第二阶段抛光,该方法先统计得出第一阶段和第二阶段抛光的总时间;然后将第一阶段抛光的时间设定为该总时间的60%至80%,且依照所设定的时间进行第一阶段抛光;最后进行第二阶段抛光且检测其抛光终点,在检测到抛光终点时停止第二阶段抛光。本发明可大大提高抛光过程的可控性,从而避免出现过抛凹陷及腐蚀或被抛光层残留等抛光性能不佳的现象。
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本发明提供了一种去边检测装置，包括：探测组件，其包括信号发射器和信号接收器，用于探测晶圆边缘和去边位置；支撑框架，用于固定上述探测组件；传动组件，与上述支撑框架相连接；控制单元，控制上述探测组件在晶圆径向方向上的平行移动并记录其探测到晶圆边缘和去边位置所对应的行进距离，以计算晶圆的去边量。此外，本发明还提供了一种去边检测方法，其能精确地检测去边位置，提高检测的可重复性，并对化学电镀去边后的平坦化进行量化的控制，以降低化学机械研磨工艺中产生剥落缺陷并造成晶圆划痕，提高化学电镀平坦化的控制，进而提高了晶圆的良率。
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本实用新型涉及化学品投加装置,尤其涉及一种液态化学品投加装置。一种液态化学品自动配比投加装置,它包括化学品定量投加单元(1)、显示控制检测单元(2)和外部部件,所述化学品定量投加单元(1)包括储槽(11)、过滤器(12)、泵(13)、卸压阀(14)、背压阀(15)、混合器(16)和管路,所述显示控制检测单元(2)包括依次连接的传感器(21)、控制器(22)和变频器(23),并通过所述变频器驱动所述的泵,所述显示控制检测单元的控制器为PLC控制器,该控制器还连接有一个集状态显示、编程功能于一体的触摸屏(24)。本实用新型具有可靠性高、故障率低、操作更加直观等优点。
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本发明属于传感器技术领域，具体为一种氮掺杂碳纳米管修饰的电化学传感器及其应用。所述电化学传感器为三电极体系传感器，其以玻碳电极表面涂覆有氮掺杂碳纳米管响应膜的修饰电极为工作电极；可应用于检测微量铅。检测时以涂覆有氮掺杂碳纳米管响应膜的玻碳电极为工作电极，铂片为对电极，Ag/AgCl(饱和KCl)为参比电极，采用循环伏安法工作方式对铅离子进行检测。本发明的电化学传感器能制备简单、性能稳定且可重复利用；实现对铅离子的简便、快速检测，性能稳定且可重复利用；检测灵敏度高，检测下限达到0.06μM。
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本发明提供一种化学机械研磨方法,该方法包括以下步骤:提供多个具有相似或相同图形的硅片,这些硅片均具有硅衬底和位于该硅衬底之上的待研磨层,使用化学机械研磨设备将待研磨层研磨至目标位置,再进行一定时间Top的过研磨,其中,使用终点检测装置来监测研磨终点及监测到该终点后发出开始所述过研磨的指示,并由该终点检测装置测得硅片被正常研磨时抵达所述终点所经历的平均研磨时间T1,其中,该方法还包括:当多个硅片中的一个硅片被研磨至终点时所经历的实际研磨时间T小于T1的70%-85%时,将该硅片的过研磨时间Top延长至Top+(T1-T)。
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本发明涉及电化学传感器领域，特别是涉及一种新颖的和改进的安培型三电极电化学传感器，以用来检测在气体中的毒性气体氨或胺类。本发明提供一种三电极电化学传感器，包括一个工作电极、一个参比电极和一个对电极，三个电极都和液相电解液相接触并通过电解液形成离子导通，所述工作电极由一个多孔的电子导体层组成，所述电子导体层中含有活性物质，所述活性物质选自锰化合物、钴化合物或铬化合物中的一种或多种的组合。本发明所提供了一种新型的、改进的电化学氨气传感器，将活性物质材料直接存在于工作电极，减少了活性物的丢失，也减少了活性物的浪费，同时也保存了活性物，而且传感器T90也得到了显著提高。
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本发明提供一种用于核酸等温扩增的电化学微流控器件的制备及其应用。在印刷电极上直接构建微流控电化学传感器件，包含两层PDMS芯片，上层的微通道以满足各种样品的充分混匀，下层微通道区域则是反应区和检测区；将温控元件整合到上述器件上；对电极表面进行功能化修饰，针对乙肝病毒核酸设计相应的引物，将电化学报告分子修饰到引物上，将标记好的引物与待检测核酸混匀，注入到微流控芯片内，控制合适温度，对待测核酸样品进行等温扩增反应。被标记的引物在扩增的同时通过碱基配对作用结合到电极表面。对电化学报告分子检测，实现对病毒的检测。本发明微型化，成本低，便携，可实现快速、高灵敏检测，方便用于野外和家庭诊断。
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