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化学机械抛光液的制备工艺

683   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:21
本发明公开了一种化学机械抛光液的制备工艺:将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组,平行的将每组的成分分别进行混合,得到各中间预混物,对中间预混物进行质量控制测试,全部中间预混物检测合格后,进行混合,制得化学机械抛光液。本发明的制备工艺缩短了大规模生产的工艺流程时间,极大地提高了产能,降低了生产成本,并且增加了工艺流程质量控制点,提高了质量控制水平,使产品质量保障得到极大提升,降低了生产质量事故风险,因而具有明显的经济价值。
声明：
“化学机械抛光液的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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