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广东深圳有色金属分析检测技术理论与应用

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化学镀镍水及其应用
化学镀镍水及其应用 851     
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本发明涉及电路板化学镀水技术领域,具体涉及一种化学镀镍水及其应用。所述化学镀镍水的原料成分和重量百分比含量为:2~5%的硫酸镍,1.5~5%的次磷酸二氢钠,0.0001~0.03%的乙酸铅,0.0001~0.03%的顺丁烯二酸,0.005~0.3%的异硫脲丙磺酸钠UPS,0.5~3%的丁二酸,0.5~5%的乳酸,0.05~1%的乙酸,0.5~5%的苹果酸,2~8%的氢氧化钠,余量为去离子水。其中,化学镀镍水由M剂、A剂、B剂、C剂和D剂五种药水按顺序和比例调配而成,该技术方案由于将各组分分别放置于不同编号的药水内,能简化生产过程中硫酸镍、次磷酸二氢钠、pH以及硫化物(加速剂)等各组分的分析与调整。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
CRISPR/Cas12一步核酸检测方法及新型冠状病毒检测试剂盒

本发明涉及基因检测技术领域,特别是涉及一种CRISPR/Cas12一步核酸检测方法及新型冠状病毒检测试剂盒,其中所述新型冠状病毒检测试剂盒包括crRNA、Cas蛋白、引物、缓冲体系和单链DNA报告分子;所述引物为:在待检测靶标分子区域寻找5’‑TTTN‑3’序列,并在其近5’区域0‑200bp内设计正向引物,在其近3’区域25‑200bp内设计反向引物,所得引物进行化学修饰防止DNA酶或激活后Cas12蛋白降解。本发明有益效果在于:相比于市面上现有的基于PCR核酸检测技术,本申请的核酸检测方法和新型冠状病毒检测试剂盒,使扩增和检测可以同步进行,因而操作更为便捷。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
用于化学镍金工艺的补水装置

本实用新型提供了一种用于化学镍金工艺的补水装置,其包括相隔一预设高度的一镍缸和一储液缸;其还包括一出水管、一第一水阀和一水位传感器;所述第一水阀根据水位传感器发出的信号开启或者关闭;当水位传感器感应到镍缸中药水的水位下降时传输信号给第一水阀,第一水阀接受水位传感器传输的信号自动打开阀门,则储液缸中的补给水通过出水管传输到镍缸中,对镍缸进行补水。本实用新型提供的镍缸补水装置可以自动对镍缸中的水位进行检测,并实时根据检测结果自动进行补水,为PCB板表面处理化学镍金工艺中对镍缸的补水提供简单有效的方法,为制作出高品质的PCB板提供方便。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
管理危险化学品的方法、装置以及电子设备

本发明实施例涉及危险化学品管理技术领域,特别是涉及一种管理危险化学品的方法、装置以及电子设备。该方法包括:当所述危险化学品被领出时,记录所述危险化学品的领料信息;根据所述领料信息,计算所述危险化学品的预估运输路线;根据所述蓝牙网关所读取到的所述危险化学品的蓝牙标签,确定所述危险化学品的实际运输路线;检测所述危险化学品的实际运输路线是否与预估运输路线相匹配;若否,则向监管终端发送报警信息。通过上述方法,本发明实施例可以实现对危险化学品实时在线监控,从而提高管理效率,降低人工监控成本。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于乙醇氧化酶的电化学乙醇传感器及其制备方法

本发明涉及一种基于乙醇氧化酶的电化学乙醇传感器及其制备方法,该传感器中具有三个电极,在工作电极上覆盖乙醇氧化酶膜层,乙醇氧化酶将样品气体中的乙醇选择性氧化成乙醛,乙醛在工作电极上氧化电流与乙醇的浓度成线性关系。乙醇氧化酶层的酶催化层没有导电性,为电化学惰性层,有关酶的全部反应与电化学传感器工作电极的电流没有直接关系。酶的催化反应产物扩散到工作电极,进一步发生反应,产生电化学电流,电流与乙醇的浓度成线性关系。本发明涉及的传感器的工作电极为低活性的材料。该乙醇传感器的响应时间短,测试结果准确,对其他有机气体没有明显的响应,但对乙醇具有极高的选择性和灵敏度,其更能够适应复杂环境下乙醇检测的需要。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
用于形成追捕策略的强化学习模型训练方法和训练装置

本发明涉及追捕技术分析技术领域,具体是涉及用于形成追捕策略的强化学习模型训练方法和训练装置。本发明逃跑者的控制量并不是确定性的,而是根据追捕者的信息给出的控制量,即逃跑者与追捕者进行了交互,这与实际追捕过程中逃跑者会根据追捕者的信息而做出相应的逃跑策略上的改变是一致的,追捕强化学习模型再根据改变之后的逃跑策略而给出追捕者的追捕策略。如此往复地对追捕强化学习模型进行训练,这样等到的已训练追捕强化学习模型应用到实际追逃过程中,即便逃跑者针对追捕者改变了逃跑策略,追捕者依然能够精准地实现对逃跑者的追捕,从而增加了已训练的追捕强化学习模型的鲁棒性。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
超薄全固态甲醛电化学气体传感器

本发明属于电化学甲醛检测领域,具体涉及超薄全固态甲醛电化学气体传感器,包括电极以及固态电解质,电极包括工作电极、参比电极与对电极,各电极与固态电解质之间设有催化层,所述催化层是由特定浆料制成,所述特定浆料是指将单壁碳纳米管、石墨烯、铂、铑、钯、银、纳米氧化锡、氧化铜、二氧化钛、氧化钴、纳米二氧化硅、nafion溶液与PVDF溶液混合,形成的黏度100‑300/pa·s且固体质量分数在30‑45%的浆料。本发明具有高度抗干扰性,适合日常生活中甲醛的实时检测。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
用于制备新材料的化学气相沉积装置

本发明涉及一种用于制备新材料的化学气相沉积装置,包括底座、导气机构、沉积管、夹持机构、种棒、旋转机构和两个加热机构,导气机构包括进气管、导气室和导气管,导气室内设有转轴、转盘、第一电机、驱动块、调节组件和两个扇叶,加热机构包括滑板、移动组件、氢氧焰喷灯、竖板、顶板、X射线发射器和X射线接收器,该用于制备新材料的化学气相沉积装置通过导气机构调节通入反应气体的用量,使装置随着运行时间的增加减小通入气体量,保证沉积反应的同时降低了设备生产成本,不仅如此,通过加热机构在沉积管的下方移动并进行沉积状况的检测,根据薄膜的附着状况控制滑板的移动,使得薄膜均匀沉积在种棒表面,提高了新材料的生产质量。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
化学交换饱和转移效应定量方法、装置及电子设备

本发明实施例提供一种化学交换饱和转移效应定量方法、装置及电子设备,涉及生物医学工程领域,该方法包括:获得化学交换饱和转移成像数据和预定义数据,根据所述预定义数据计算获得水分子的初始溢出效应数据,根据所述初始溢出效应数据和所述化学交换饱和转移成像数据计算获得初始磁化转移效应数据,对所述初始溢出效应数据和所述初始磁化转移效应数据进行调整,获得最终溢出效应数据和最终磁化转移效应数据,根据所述化学交换饱和转移成像数据、所述最终溢出效应数据和所述最终磁化转移效应数据计算获得目标化学交换饱和转移效应。使用该方法、装置及电子设备能对化学交换饱和转移效应进行准确的分析。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
核电站基于无可溶硼冷却剂的水化学环境改善的方法

本发明提供一种核电站基于无可溶硼冷却剂的水化学环境改善的方法,包括在核电站机组启动阶段,获取到一回路中冷却剂的水化学环境的温度逐渐升高至预设的中温阈值后,通过RCS上充管线向一回路中注入氢氧化锂溶液,直至冷却剂中锂离子浓度达到预定值为止;其中,冷却剂注入氢氧化锂溶液之前后均不含硼离子;待核电站机组上行至满功率运行阶段后,对冷却剂的pH值进行周期性检测,一旦检测出pH值低于7.2,就通过RCS上充管线继续向一回路中注入氢氧化锂溶液,直至锂离子浓度恒定为预定值,使得pH值维持7.2为止。实施本发明,通过省略可溶硼的制备及其协调策略,有利冷却剂的水化学环境的稳定,还节省成本、简化控制策略以及减缓腐蚀。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于深度强化学习的机械臂主动容错控制方法

一种基于深度强化学习的机械臂主动容错控制方法,包括:利用深度学习方法进行实时的故障检测,其中,将训练得到的基于数据的动力学模型作为名义模型来产生机械臂关节速度的残差信号,并根据残差信号进行故障检测和诊断;当发生单或多执行器突变故障时,通过诊断定位故障关节;针对发生故障的关节,基于深度强化学习的辅助控制器与系统控制器一起工作,输出补偿控制力矩以弥补关节性能损失;其中,机械臂的每一个关节配置有基于深度强化学习的辅助控制器,当发生故障时,辅助控制器与名义控制器并行工作,自主估计执行器的故障程度并输出补偿力矩。本发明在机械臂发生执行器突变故障时能够及时进行力矩补偿,实现平滑的主动容错控制。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
检测组织SIRT7含量作为乳腺癌治疗及预后检测指标的方法

本发明公开了检测组织SIRT7含量作为乳腺癌治疗及预后检测指标的方法,包括以下步骤:步骤一,取样;步骤二,选取;步骤三,处理;步骤四,检测;其中在上述步骤一中,首先抽取一定量的病理组织备用,病理组织包括确诊穿刺时、化学药物治疗前或手术后病理组织样品,病理组织从确诊时的穿刺组织、治疗乳腺癌治疗患者前或者乳腺癌术后者中抽取;其中在上述步骤二中,随后选取人沉默调节蛋白7抗体进行存放,沉默调节蛋白7抗体的保存环境为‑20℃;其中在上述步骤三中,将步骤一中抽取的病理组织进行处理,免疫组织化学的组织蜡块包埋以及切片处理;该发明,通过将SIRT7的含量作为一个动态指标,有利于对患者治疗方式进行选择同时对预后风险进行评估。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
多通道集成式阵列光电化学传感电极及其制备方法和应用

本发明公开了一种多通道集成式阵列光电化学传感电极及其制备方法和应用,所述多通道集成式阵列光电化学传感电极的基底为石英玻璃,基底上设置有阵列式相互间隔排列设置的工作电极、工作电极导电层、绝缘层、对电极和参比电极,结构简单,检测快速,制作低成本,高灵敏度,具有普适性,其作为基础电极能够在进一步常规纳米/生物材料修饰后应用于蛋白、核酸、化学小分子等生物、环境污染物的检测,故而具有广阔的市场应用前景。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于离子迁移谱和拉曼光谱的危险化学品识别仪

本实用新型公开一种基于离子迁移谱和拉曼光谱的危险化学品识别仪,包括设置于壳体内并行排列的迁移管模块、拉曼光谱仪模块及探出壳体的热解析进样器、吸气进样器和拉曼探头;迁移管模块和热解析进样器或吸气进样器相连接,拉曼光谱仪模块和拉曼探头相连接;测试样品时,样品通过热解析器或吸气进样器进入迁移管模块检测,得到迁移谱结果;激光通过拉曼探头照射到样品进行检测,得到拉曼光谱检测结果。本实用新型设计的危险化学品识别仪,大大提高了仪器的应用范围,进一步满足各种场合,如地铁、机场、港口、边境口岸以及人群聚集场所的危险品检查需求。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
化学合成的HBV 1.2x基因组、表达系统及其构建方法

本发明公开了一种化学合成的HBV 1.2x基因组、表达系统及构建方法,所述HBV 1.2x基因组的DNA序列为SEQ ID NO:1所示的第一序列。所述第一序列由SEQ ID NO:2所示的第二序列改造而成,所述改造序列(对应第二序列的1501-3215,1-2150),其中1501-3215片段的第1909个核苷酸由T突变为C、第1912个核苷酸由C突变为T、第2248个核苷酸由T突变为C,在改造序列的两端均加入序列GATATC得到所述第一序列。根据本发明HBV1.2x基因组构建重组质粒pcDNA3.1(+)/HBV,然后转入肝肿瘤细胞系HepG2细胞,培养上清中检测到HBV特异性抗原HBe Ag和HBs Ag,从而能够实现HBV特异性抗原的表达。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
恒温型化学反应合成设备

本实用新型公开了一种恒温型化学反应合成设备,包括设备主体,所述设备主体的一侧从上至下分别贯穿有进料管、进水口和出水口,所述设备主体的底部连接有成品室,该种恒温型化学反应合成设备,同时还设置有温度传感器、加热器、工作面板和显示器,在反应进行时,温度传感器可通过温度的变化对温度传感器中的金属电阻的阻值进行改变并将该种变化转为输出信号通过工作面板传输给显示器显示出来,以此达到使用者通过显示器对热水温度进行精确检测的功能,且使用者在检测到热水温度降低后,使用者可启动加热器,使加热器内部的电阻通过电流发出热量对热水进行加热,从而避免热水温度降低而造成化学反应不完全,对化学原料造成浪费。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
泵吸式电化学传感器气路结构

本实用新型公开了一种泵吸式电化学传感器气路结构,包括传感器罩、上盖、电化学传感器、温湿度传感器,其特征在于:还包括采气泵,上盖与传感器罩紧密相连接,传感器罩具有内容腔,在内容腔中设有气室,气室具有气室进气口和气室出气口,在传感器罩连接有进气柱和出气柱,所述的进气柱与测试探头连接,出气柱与采气泵相连,电化传感器置于传感器罩内,电化学传感器具有反应面,电化学传感器的反应面紧贴于气室的敞开口并遮蔽敞开口,温湿度传感器位于气室凹槽上。通过该结构,电化学传感器响应速度快、不受外界环境干扰、延长了电化学传感器的使用寿命、提高传感器检测精度。将温湿度传感器嵌入气室,可准确测量气室内的温湿度。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
细胞原位单个囊泡内含物的检测装置及其检测方法

本发明提供一种细胞原位单个囊泡内含物的检测装置及其检测方法。所述检测装置包括:光学显微镜、微操纵仪、计算机工作站、AD/DA转换器、膜片钳放大器、红外相机和电化学电极系统;所述电化学电极系统包括:碳纤电极、玻璃微电极、参比电极、电解液和推进器。本发明操作方法简单,应用范围更广,在单个囊泡水平上,为神经递质的定性和定量研究提供了一种直接且高时间、空间分辨率的检测方法。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
集成式光电化学传感电极及其应用

本发明是一种集成式光电化学传感电极,基底为导电玻璃,自下而上依次为工作电极、第一绝缘层、对电极、参比电极、第二绝缘层。本发明通过多步、多层印刷操作,将对电极及参比电极直接制备与工作电极同在一块导电玻璃的表面,实现了三电极体系的集成,构建了一种新型的光电化学传感器平台,可实现标准化,大规模生产,应用于医学辅助诊断,环境监控,食品安全等检测领域,比如检测尿酸,葡萄糖,C反应蛋白,病毒核酸等,应用范围广,检测精度高。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
硅基化学传感材料及其制备方法

本发明公开了一种硅基化学传感材料的制备方法,其步骤包括:1)将正硅酸乙酯和乙醇于常温下搅拌混合20~40分钟得混合液;2)将超纯水、甲苯、β-环糊精、乙酸铕(III)水合物、乙二胺四乙酸二钠/乙二胺四乙酸、pH调节剂于常温下混合,并超声处理20~40分钟后得混合物;3)将步骤2)中的酸性混合物滴加到步骤1)的混合液中,并于50~70℃下搅拌反应1~2小时;4)反应完成后,将步骤3)中的反应混合物倒入聚乙烯瓶中,并于60~80℃下干燥约40~50小时以凝胶化;5)将步骤4)中得到的凝胶化产物碾成粉末并以乙醇回流提取20~30小时得到β-环糊精-铕溶胶-凝胶化学传感材料。制备方法简单,灵敏度高,特别适用于水中芳香族化合物以及煤油等石油污染物的筛选检测。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于微流控技术的检测芯片及检测设备

本发明涉及微流控芯片技术领域,提供一种基于微流控技术的电化学发光检测芯片及检测设备,检测芯片包括基底层、装载层以及封盖层,基底层上设置有多个电极单元,装载层上设有多个通孔,多个通孔与多个电极单元一一对应形成多个反应池,封盖层底部设有多个凹槽,多个凹槽一一对应位于各反应池顶部形成反应池的顶盖,封盖层上还设有流入孔、流出孔,多个凹槽之间通过微流道连通,微流道的两端分别与流入孔及流出孔连通。本发明中检测芯片包含多个反应池,可对标本同时进行多个生化或化学指标的检测;在使用时仅有流出孔、流入孔与外界连通,大部分反应均在封闭的微流道系统中完成,有效降低外部环境对反应和检测过程的干扰。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
微流控芯片、基于微流控芯片的检测系统及细菌的检测方法

本发明公开了微流控芯片、基于微流控芯片的检测系统及细菌的检测方法,该微流控芯片由键合在一起的基片与盖片组成,盖片上设有混合微通道和反应微通道,混合微通道和所述反应微通道相互连接,反应微通道内具有微柱阵列,进一步地,微柱上修饰有发夹状寡核苷酸1。本发明检测方法是通过致病性细菌竞争结合引发两条发夹状寡核苷酸(H1,H2)发生催化发夹自组装反应,该反应不仅对致病性细菌的浓度进行放大,还将辣根过氧化物酶固定在微柱阵列上,进而催化鲁米诺和过氧化氢发生化学发光反应,通过化学反应信号强度来对致病性细菌进行定量。本发明具有良好的特异性,低的检测限和宽的线性范围,为定量检测食源性致病菌提供了较为准确的数据。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
化学修饰碳糊电极及其制备方法和应用

本发明公开了一种化学修饰碳糊电极,包括电极管壳,填充于该电极管壳中的碳糊,以及与该碳糊接触并由该电极管壳内引出的电极引线,该碳糊包括导电碳材料、粘合剂和复合修饰剂,该复合修饰剂包括含铋固体粉末和螯合剂;含铋固体粉末为不溶于水的固体含铋物质;螯合剂为疏水性的,能与铅离子、镉离子和锌离子中的至少一种离子形成螯合物的有机试剂。该化学修饰碳糊电极检测铅离子、镉离子和锌离子的检出限均达到了1.0×10-12M,与现有的化学修饰碳糊电极的检出限相比降低了1~3个数量级,在现有的化学修饰碳糊电极的基础上其检测性能明显得到了提高。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
降钙素原检测试剂盒和降钙素原检测方法

本发明属于体外检测技术领域,具体涉及一种降钙素原检测试剂盒和降钙素原检测方法。本发明所提供的降钙素原检测试剂盒,包括:降钙素原抗体包被的金磁微粒,碱性磷酸酶标记的降钙素原抗体,以及化学发光底物;金磁微粒为以氧化铁为核表面包覆修饰有纳米金颗粒的磁性复合微粒。本发明采用金磁微粒作为磁性固相载体,降钙素原抗体一步偶联在金磁微粒表面,包被效率高,降钙素原抗体活性稳定,提高了检测试剂盒的灵敏度。本发明采用酶促化学发光底物,发光平台期长,发光持续性更稳定,与降钙素原抗体包被的金磁微粒协同作用,整体上提高了检测试剂盒的灵敏度、稳定性和重复性。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
检测透明质酸的试剂盒及其检测方法和应用

本发明公开了一种检测透明质酸的试剂盒及其检测方法和应用,属于体外诊断检测技术领域。该试剂盒包括以下组分:1)磁性微球体系:包括有直接连接或间接连接第一结合剂的磁性微球;2)标记物体系:包括有直接连接或间接连接标记示踪物的第二结合剂。本发明的试剂盒和检测方法,采用化学发光免疫法对透明质酸进行检测,将具有高灵敏度的化学发光测定技术与高特异性的免疫反应相结合,具有灵敏度高和准确性好的特点。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
化学发光底物液及其应用

本发明涉及一种化学发光底物液。该化学发光底物液包括如下组分:150mg/L的(4‑氯苯巯基)(10‑甲基‑9,10‑二氢化吖啶亚甲基)磷酸二钠盐、10mmol/L‑500mmol/L的缓冲基质、0.1mg/L‑20mg/L的荧光增强物质、10mg/L‑5000mg/L的本底发光抑制物质及0.1g/L‑10g/L的表面活性剂;化学发光底物液的pH为8‑11,本底发光抑制物质为具有弱还原性的无机还原剂或者具有弱还原性的有机还原剂,表面活性剂为非离子表面活性剂与阴离子表面活性剂的混合物或者为非离子表面活性剂与阳离子表面活性剂的混合物。上述化学发光底物液达到发光平台期时间短、发光持续时间长,检测灵敏度高且光稳定性好,可以提高临床免疫检测速度,缩短检测时间。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
基于强化学习的共享公交车贴线调度方法

本发明公开了一种基于强化学习的共享公交车贴线调度方法,包括如下步骤:S1:基于真实数据搭建公交路网仿真模型作为强化学习的环境;S2:使用多智能体强化学习对共享公交车调度模型进行优化、分析与验证。本发明考虑交通路网中的动态变化带来的影响,基于真实的数据搭建公交路网仿真模型作为强化学习的环境,使用多智能体强化学习的算法对调度模型进行优化、分析与验证,可以有效提高公司收益,并且具有更高的鲁棒性,是一种高效实用的共享公交车调度算法。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
高效酶促化学发光底物系统

本发明涉及一种高效稳定的酶促化学发光底物系统。所述酶促化学发光底物系统由A液和B液两组组份构成,A液中含化学发光底物,B液中含有复合增强剂,在临用前将A液与B液等体积混合。其中A液中的化学发光底物为鲁米诺钠盐或其衍生物,B液中的复合增强剂为3-氯-4羟基乙酰苯胺和四水合过硼酸钠。该底物系统具有发光信号强,起效迅速,2分钟内可达发光平台,发光持续时间长等多种优点。另外还提供了含有该底物系统的化学发光免疫检测试剂盒。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
化学威胁视频跟踪装置
化学威胁视频跟踪装置 1168     
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本实用新型实施例公开了一种化学威胁视频跟踪装置,包括监测模块、控制模块、视频模块;其中:监测模块,用于监测空气中的化学物质的种类和浓度;控制模块,与所述监测模块相连接,用于判断监测到的每一种化学物质中,是否有其中一种化学物质的浓度是否超过预设阈值,若是,则向视频模块发出视频录制指令;视频模块,与所述控制模块相连接,用于根据所述视频录制指令自动保存监测区域的视频。本实用新型实施例的技术方案,当现场检测出危险化学物质时,自动保存监测区域的视频,以便在发生突发性化学因子事件时,能准确定性定量,便于管理人员采取应急措施。

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化学分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
常压化学气相沉积装置
常压化学气相沉积装置 1132     
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为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中,只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常,不能及时发觉异常,也无法及时采取保护措施的问题,本实用新型提供了一种常压化学气相沉积装置,其包括一报警保护模块,所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元;所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连;所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置,由于在其上集成了报警保护模块,可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时,可编程控制器可及时通过报警单元进行警示,提醒操作人员及时采取措施。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色网 2023-03-19
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