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用于制备新材料的化学气相沉积装置

1284   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:45
本发明涉及一种用于制备新材料的化学气相沉积装置，包括底座、导气机构、沉积管、夹持机构、种棒、旋转机构和两个加热机构，导气机构包括进气管、导气室和导气管，导气室内设有转轴、转盘、第一电机、驱动块、调节组件和两个扇叶，加热机构包括滑板、移动组件、氢氧焰喷灯、竖板、顶板、X射线发射器和X射线接收器，该用于制备新材料的化学气相沉积装置通过导气机构调节通入反应气体的用量，使装置随着运行时间的增加减小通入气体量，保证沉积反应的同时降低了设备生产成本，不仅如此，通过加热机构在沉积管的下方移动并进行沉积状况的检测，根据薄膜的附着状况控制滑板的移动，使得薄膜均匀沉积在种棒表面，提高了新材料的生产质量。
声明：
“用于制备新材料的化学气相沉积装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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