
二氧化钛掺铌(TNO)靶材 TiO2-Nb基本信息
分子式: TiO2-Nb
纯度: 99.9%
二氧化钛掺铌(TNO)靶材 TiO2-Nb产品应用
透明导电的铌掺杂二氧化钛(TNO)具有导电性好和可见光波段透射率高的性质,与标准半导体制造工艺兼容性好,容易制备成膜和其他各种纳米结构。掺铌二氧化钛透明导电氧化物(TCO)薄膜在近红外(NIR)波段其介电常数的实部可为负值,同时相较于传统的
贵金属等离子体材料(plasmonic material)其损耗更低,且具有良好的可调性,有望成为新型的可替代传统金属的低损耗等离子体材料。