江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 其它材料

> 氮化钨(WNₓ)溅射靶材

氮化钨(WNₓ)溅射靶材

氮化钨(WNₓ)溅射靶材

浏览量 338
规格/型号:暂无
品牌:科泰
应用领域:材料
产地:江西 - 南昌
厂家/供应商:江西科泰新材料有限公司
咨询电话::0795-5381117(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2026-06-11
级别:待认证

氮化钨(WNₓ)溅射靶材说明介绍

氮化钨(WNₓ)溅射靶材

氮化钨(WNₓ)溅射靶材产品概况


氮化钨靶材采用高纯钨粉(≥99.99%)与高纯氮气(≥99.999%)为原料,通过 反应等离子烧结(RPS) 工艺制备的高硬度、高导电性复合陶瓷靶材。核心特性包括:

相结构精确可控(β-W₂N为主相,可调W₃N、WN相)

超高密度≥99.5%(孔隙率<0.3%)

超低氧含量(O<30ppm,C<15ppm)

纳米级晶粒尺寸(平均晶粒尺寸 20-80nm)

在直流磁控溅射中实现 薄膜电阻率<150μΩ·cm,硬度 >25GPa,与的附着力 >40MPa。

核心价值源于其“导电-硬度”协同特性

▶ 卓越的机械与电学性能

• 维氏硬度 25-30GPa(接近立方氮化硼)

• 电阻率 120-200μΩ·cm(媲美高导电金属)

• 摩擦系数 0.4-0.5(自润滑特性)

▶ 高温稳定性与界面性能

• 抗氧化温度 >700℃(表面形成致密WO₃保护层)

• 铜扩散阻挡温度 >650℃(硅基衬底)

• 优异的抗热震性(ΔT>500℃循环无开裂)

▶ 化学稳定性

• 耐强酸腐蚀(王水中失重率<0.1mg/cm²·h)

• 低氢渗透率(<10⁻¹³ mol H₂/m·s·Pa)

氮化钨(WNₓ)溅射靶材产品应用

主导应用覆盖先进半导体与高端制造

1. 纳米集成电路

▸ Cu/Co互联扩散阻挡层(厚度<5nm,方块电阻<10Ω/□)

▸ 三维存储器(3D NAND)阶梯接触孔填充(深宽比>10:1)

2. 超硬耐磨涂层

▸ 精密刀具镀层(铣刀、钻头寿命提升 3-8倍)

▸ 模具表面强化(冲压/注塑模具寿命延长 >5倍)

3. 新能源与储能

离子电池集流体涂层(提升硅负极循环寿命 >300次)

▸ 质子交换膜燃料电池双极板防护层(接触电阻 <8mΩ·cm²)

4. 光学与传感器

▸ 红外隐身涂层(3-5μm波段发射率 <0.3)

▸ 高灵敏度气体传感器催化层(对NO₂检测限 <1ppm)
点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 金属材料在芯片工艺上的作用 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 2025年锂电池行业十大变革性技术 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩?
江西科泰新材料有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
材料
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
0795-5381117
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.215448s