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氮化铝钪靶材(AlScN)

氮化铝钪靶材(AlScN)

浏览量 464
规格/型号:暂无
品牌:科泰
应用领域:材料
产地:江西 - 南昌
厂家/供应商:江西科泰新材料有限公司
咨询电话::18979517112(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2026-06-09
级别:待认证

氮化铝钪靶材(AlScN)说明介绍

氮化铝钪靶材

氮化钪靶材(AlScN)产品概况

氮化钪铝靶材采用航空级铝(≥99.999%)与核纯级钪(≥99.99%)为原料,通过 等离子旋转电极雾化+热等静压(HIP) 工艺制备的压电增强型溅射靶材。核心特性包括:

•精确掺杂控制(Sc 10-45at.% 连续可调)

•亚微米柱状晶结构(晶粒尺寸 0.3-1.2μm)

•超高密度>99.5%(孔隙率<0.05%)

•超低金属杂质(Fe<5ppm,Cr<2ppm)

•在射频磁控溅射中实现 压电系数d₃₃>25pm/V,

核心价值源于钪掺杂的压电相变效应

➊ 卓越压电性能

·压电常数 d;;=15-28pm/(Sc含量调控,较纯AIN提升500%)

·介电损耗 tan8<0.003(x波段品质因数Q>1500)

➋ 低应力高稳定性
·膜内应力 <200MPa(突破AIN薄膜开裂瓶颈)

·退火稳定性 **>650°C**(兼容CMOS后道工艺

➌ 多重功能协同

·铁电/压电双模式切换(Sc>25at.%时自发极化)

·声表面波速率 **>5600m/s**(高频滤波器关键指标)

氮化铝钪靶材(AlScN)产品应用

主导应用覆盖5G通信与先进传感器

◉ 高频射频滤波器

▸ 5G n79频段BAW滤波器(频带 3.3-4.9GHz,带宽提升 300%)

▸ 毫米波AiP天线耦合层(插入损耗 <1.2dB)

◉ 智能传感系统

▸ MEMS超声换能器发射层(分辨率 <50μm,医疗影像用)

▸ 高精度PMUT阵列(检测极限 10MPa)

◉ 存储与逻辑器件

▸ 铁电存储器(FeRAM)栅极层(剩磁极化 **>15μC/cm²**)

▸ 负电容晶体管沟道层(亚阈值摆幅 <60mV/dec)

◉ 量子技术载体

▸ 声子量子比特芯片压电层(相干时间 **>200μs**)

▸ 氮空位色心应力调控膜(光谱稳定性 <0.05nm)
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所属领域:
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企业性质:
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