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1200℃RTP退火炉

1200℃RTP退火炉

128
规格/型号：CY-RTP1000-Φ300-T
品牌：成越
应用领域：冶金
产地：河南 - 郑州
厂家/供应商：郑州成越科学仪器有限公司
咨询电话:：0371-55199322（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2025-02-10
级别：待认证

1200℃RTP退火炉说明介绍

1200℃RTP退火炉

1200℃RTP退火炉


产品型号：CY-RTP1000-Φ300-T

简单介绍：

1200℃RTP退火炉是一款12寸片快速退火炉，采用革新的加热技术，可实现真正的基底温度测量，不需要采用传统快速退火炉的温度补偿，温度控制**，温度重复性高，客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队，是半导体制程退火工艺的理想选择

详情介绍：

1200℃RTP退火炉是一款12寸片快速退火炉，采用革新的加热技术，可实现真正的基底温度测量，不需要采用传统快速退火炉的温度补偿，温度控制**，温度重复性高，客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队，是半导体制程退火工艺的理想选择。

技术特色：

• 真正的基片温度测量，无需传统的温度补偿

• 红外卤素管灯加热

• 极其优异的加热温度**性与均匀性

• 快速数字PID温度控制

• 不锈钢冷壁真空腔室

• 系统稳定性好

• 带触摸屏的PC控制

• 兼容常压和真空环境，真空度标准值为5×10-3Torr，采用二级分子泵真空度低至5×10-6Torr

• *高3路气体（MFC控制）

• 没有交叉污染，没有金属污染

  技术参数：

1200℃RTP退火炉
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标签：
退火炉 冶金设备
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所属领域：
冶金
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