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高真空快速CVD系统

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规格/型号：OTF-1200X-4-RTP-C3HV

品牌：科晶智达

应用领域：冶金

产地：广东 - 深圳

厂家/供应商：广东科晶智达科技有限公司

咨询电话:：无（请说明信息源自“中冶有色技术网”）

更新时间：2025-01-26

级别：待认证

高真空快速CVD系统说明介绍

高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

型号:OTF-1200X-4-RTP-C3HV

产地:广东

产品介绍

高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP炉、三通道混气系统和高真空机组组成，可进行半导体基片、太阳能电池及其它样品（尺寸可达3″ ）的退火，并采用 10KW的红外灯进行加热，最快升温速度可达 120℃/s，配有RS485 接口，可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。

产品型号

高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷。

2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。