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前端预热双温区CVD设备

前端预热双温区CVD设备

1825
规格/型号:BTF-1200C-II φ50mm
品牌:暂无
应用领域:暂无
产地:安徽 - 合肥
厂家/供应商:安徽贝意克设备技术有限公司
咨询电话::暂无(请说明信息源自“中冶有色技术网”)
更新时间:2021-12-08
级别:待认证

前端预热双温区CVD设备说明介绍

主要技术指标: 
双温区开启式真空管式炉BTF-1200C-II φ50mm

设备特点:
1200℃开启式真空管式炉不仅可以抽真空,也可以通气体保护。其结构使得拆装炉管方便,操作简捷,使用者可直接将密封腔体移出炉体,加快降温过程,透明石英管腔体可直观的看到样品烧结状态。法兰采用卡箍快捷接头,减去了取放料时的繁琐操作, 炉管工件横穿与上下各6组进口电阻丝的炉膛,温场均匀,内外温差可控制在3度左右,气动弹簧支撑结构让操作者可各角度安全开启。广泛应用在半导体、纳米材料碳纤维石墨烯新材料、新工艺领域。

技术参数:
炉管尺寸:Φ50*1200mm
加热元件:电阻丝
加热区长度:200+200mm
恒温区长度:100+100mm
工作温度≤1100℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
推荐升温速度:15℃/ min
炉门结构:开启式
工作电源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz
额定功率:3KW
外型尺寸:590×380×500 mm
密封系统:炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)端口可按实际使用扩展。 
预热器BTF-400C
工作温度:350℃
最高温度:400℃
最快升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制
工作电压:AC220 V
额定功率:800W
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝 

两路供气系统 GMF-2Z   
供气系统是一种可控制两种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制。

连接头类型:双卡套不锈钢接头。
标准量程(N2): 500sccm、500sccm(量程可选)

H2、Ar、N2质量流量计选用S49 32/MT系列,指标如下:
准确度:±1.5%
线性:±1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:(50 ~ 300) kPa(D),(100~300)kPa(D)(10L/min)
最大压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:液晶屏显示
工作环境温度:5~45高纯气体
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
低真空机组 VAU-02 
VAU-02是一套低真空机组,内部安装BSV-10机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。

技术参数:

工作环境:5℃~40℃
空气相对湿度≤85%,
工作电电压:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽气速率:10m³/h
极限真空:5X10-1Pa
工作压力范围为1.01325X105~1.33X10-2Pa
耐压值为0.03MPa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
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