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砷化镓芯片封装结构中取晶粒的方法和应用

746   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:43
本发明提供了一种砷化镓芯片封装结构中取晶粒的方法和应用，涉及砷化镓芯片技术领域。该砷化镓芯片封装结构中取晶粒的方法，采用特定原料组成以及配比的液体混合物与砷化镓芯片封装结构进行反应，并通过控制反应的时间以及温度，从而实现对砷化镓芯片封装结构中塑封体以及基底的完全去除，同时也不会对晶粒产生损伤，实现晶粒的完整提取。本发明提供了上述砷化镓芯片封装结构中取晶粒的方法的应用，鉴于上述方法所具有的优势，使得所提取的晶粒不会受到腐蚀以及损伤，保证了晶粒的完整，为研究砷化镓芯片的失效分析提供了前提条件。本发明还提供一种砷化镓芯片的失效分析方法。
声明：
“砷化镓芯片封装结构中取晶粒的方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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