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改善原子力纳米探针导电性的方法

930   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:40
本发明提出一种改善原子力纳米探针导电性的方法，包括在导电物质上接触有至少一根或多根被氧化的原子力纳米探针；依次将每根被氧化的原子力纳米探针和导电物质间施加电压差，将被氧化的原子力纳米探针的部分氧化物击穿；重复前一步，直至改善原子力纳米探针的导电性。本发明还提出一种改善原子力纳米探针导电性的方法，包括在导电物质上接触有至少两根被氧化的原子力纳米探针；依次将一根被氧化的原子力纳米探针和剩余的每根被氧化的原子力纳米探针间施加电压差，将被氧化的原子力纳米探针的部分氧化物击穿；重复前一步，直至改善原子力纳米探针的导电性，用以保证进行失效分析时样品测试的准确性，以及延长原子力纳米探针的使用寿命。
声明：
“改善原子力纳米探针导电性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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