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恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法

755   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:20
本发明提供了一种恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法，包括：第一步骤：确定一组测试温度和载台温度，以得出金属测试结构的经待测金属线的电流；第二步骤：固定测试温度，通过载台温度调节的方式来改变载台温度，得到经待测金属线的调节后电流；重复第一步骤和第二步骤以得到多组数据，其中每组数据包括电流数据和失效寿命数据；第三步骤：利用所述多组数据，通过金属寿命布莱克方程，计算出该金属测试结构的电流加速因子；第四步骤：利用电流加速因子，结合自校准式恒温电迁移活化能的评估方法，实现在恒温电迁移测试下的金属寿命计算。
声明：
“恒温电迁移测试中的电流加速因子评估方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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