合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法

微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法

772   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:19
一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置,包括:一光学测量单元,用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线,获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息;一环境腔室,用于放置被测微机电系统机械组元,所述各种环境条件包括真空、气压、气氛、温度和湿度;一XY工作台,环境腔室放置在XY工作台上,可跟随XY工作台在水平面内移动,环境腔室的质量低于XY工作台正常工作的载荷限制;一环境控制与测量单元,保证在环境腔室内实现所需的各种环境条件并测量相应的环境参数;一数据采集和控制单元,用于控制XY工作台,并带动环境腔室在水平面内移动;环境控制与测量单元,实现与测量各种环境条件。
声明:
“微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
失效分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记