本申请提供了一种晶圆测试数据的分析方法、平台、电子设备及存储介质,分析方法包括:获取多个批次的晶圆测试数据;根据目录分类信息区分晶圆测试数据,记录区分后的晶圆测试数据存储路径,并进行目录分类归档;根据目标目录分类信息,从目录中索引相应晶圆测试数据的数据路径,提取晶圆测试数据,并按照目标参数将晶圆测试数据合并成目标数据集;对目标数据集,进行视图构建及视图分析,和/或进行数据统计分析;本申请实现了晶圆测试数据的快速提取、分类、整合、分析,可提供有效的信息进行失效分析,改善设计和制造良率;利用目录索引晶圆测试数据文件路径的方式作为数据整合的基础,可有效提高数据整合、分析效率,并减少计算、运行负荷。
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