本发明公开了一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法,所述方法包括:将被测太赫兹肖特基二极管固定在测试台面,利用直流测试用探针扎在太赫兹肖特基二极管的两个金属焊盘上;使用半导体测试仪测试太赫兹肖特基二极管的电流和电压;基于获得的电流和电压,利用公式(7)计算出肖特基二极管结面积,实现了快速鉴别管芯,对器件无损伤,成本较低的技术效果。
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