本实用新型涉及一种微波
芯片检测装置,属于芯片测试技术领域,解决微波芯片的无损检测问题,装置包括测试装具(2)、控制单元(3)、输入端口(4)、输出端口(5);测试装具(2),用于无损安装待测微波芯片;控制单元(3)、输入端口(4)、输出端口(5)分别通过测试装具(2)与待测微波芯片的控制端口、微波输入端口和微波输出端口连接;输入端口(4)外接微波信号源(9),用于为待测微波芯片提供信号源;输出端口(5)外接频谱分析仪(10),用于检测待测微波芯片的输出信号;控制单元(3),用于产生控制信号,控制待测微波芯片输出信号的参数。本实用新型制造成本低、结构简单;测试过程简单、便捷,适用于批量测试。
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