本发明适用于
芯片检测技术领域,提供了一种芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质,所述方法包括以下步骤:采集无损芯片的表面图片,以所述无损芯片的表面图像训练Cycle GAN网络框架,得到缺陷检测模型;输入待检测芯片的表面图片至缺陷检测模型中进行检测判定;当所述待检测芯片的表面被判定为有缺陷时,定位待检测芯片的表面图片中的缺陷位置,本发明的有益效果是:为实现芯片表面的缺陷检测提供了一种精度高、成本低的检测方法。
声明:
“芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)