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芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质

838   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:07
本发明适用于芯片检测技术领域，提供了一种芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质，所述方法包括以下步骤：采集无损芯片的表面图片，以所述无损芯片的表面图像训练Cycle GAN网络框架，得到缺陷检测模型；输入待检测芯片的表面图片至缺陷检测模型中进行检测判定；当所述待检测芯片的表面被判定为有缺陷时，定位待检测芯片的表面图片中的缺陷位置，本发明的有益效果是：为实现芯片表面的缺陷检测提供了一种精度高、成本低的检测方法。
声明：
“芯片表面缺陷检测方法、系统、计算机设备和存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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