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多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:59
本发明公开了一种多层膜结构SAW器件的各层 薄膜厚度无损测量方法，该方法首先确定被测膜样片的测量系 数k，再测定该被测膜样片的总厚度h，然后计算被测薄膜层 的厚度hfilm＝h 基片－h样片。本 发明基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法，测 量精度达0.001μm。该方法不需提前标定被测材料相对介电常 数，不需特殊制备样件，是非接触测量，测量方法简单、成本 低。因此适用于各种薄膜、特别适用于多层结构基片制备中的 各层膜厚的无损测量及平面度测量，对提高金刚石多层膜结构 SAW器件性能具有重大意义。
声明：
“多层膜结构SAW器件的各层薄膜厚度无损测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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