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微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法

1093   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:55
本发明公开了一种微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法,包括如下步骤:用去离子水、无水乙醇和异丙醇对微纳光栅进行超声清洗,氮气吹干将三甲基氯硅烷滴到表面皿中,与微纳光栅一同置于真空干燥环境下,使三甲基氯硅烷充分钝化微纳光栅的表面;将固化剂加入聚二甲基硅氧烷中,混合均匀,消泡,得到PDMS混合物;将PDMS混合物倒在表面皿中,再将微纳光栅置于PDMS混合物表面,将附着PDMS混合物的微纳光栅置于真空干燥环境中脱气、固化,得到凝固仍带有微纳光栅的硅胶膜;将该硅胶膜与微纳光栅进行脱模,用硅胶模进行粗糙度测试。本发明可实现对微纳光栅表面难以测量的侧壁、槽底、深孔等复杂结构进行采集和复制,为复杂的微纳结构表面粗糙度测试提供了新思路。
声明:
“微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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