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基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层脱粘缺陷的无损检测方法

626   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:52
本发明公开了一种基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层脱粘缺陷的无损检测方法，强脉冲激光束经过光学掩模板或微阵列透镜照射到被测薄膜涂层结构表面形成周期分布的微小栅状激光光斑，在被测区域激发固定波长的超声波，当被测区域无脱粘缺陷时，激发的超声波为瑞利波，而当被测区域存在脱粘缺陷时，则会产生兰姆波；在波长一定的情况下，由于两种波的波速不同，其对应的频率也会不同，采用激光超声检测单元在被测区域附近接收所产生的超声波信号，获取其中心频率，根据被测信号中心频率值即可判断是否存在脱粘缺陷，还可以通过扫描检测判断脱粘缺陷的大小并对其进行成像。
声明：
“基于光栅激光超声声谱的薄膜涂层脱粘缺陷的无损检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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