本发明提供一种无需设定物质、化学反应的信息,而可以从大量的波长下的波形,选定代表性的少数的波长,可以削减花费大量的工时的蚀刻数据的解析,而高效地进行蚀刻的监视/测定的设定的蚀刻装置。在蚀刻装置中,具备:按批量晶片阶段的OES数据检索/取得功能(511),取得多个沿着蚀刻处理时间轴的发光强度波形;波形变化有无判定功能(521),判定在多个发光强度波形中有无变化;波形相关矩阵计算功能(522),计算发光强度波形间的相关矩阵;波形分类功能(523),将发光强度波形分类为组;代表波形选定功能(524),从组选定代表性的发光强度波形。
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